美國SONIX 超聲波掃描顯微鏡 ECHO-LS
SONIX 公司是世界500強丹納赫集團(NYSE: DHR)下的全資子公司，是全球超聲波掃描檢測儀和無損檢測設(shè)備的制造商。 自1986年成立以來，SONIX 在無損檢測領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新，是一家基于微機平臺，提供全數(shù)字化成像方案的公司。 SONIX 一直致力于技術(shù)革新，提供給客戶的聲學檢測技術(shù)。 SONIX 設(shè)備被廣泛應用于各種材料的無損檢測，包括半導體，汽車零件等等。
超聲波掃描顯微鏡被廣泛應用于半導體以及集成電路的制造和封裝測試行業(yè)，是一種理想的無損檢測儀器，能夠有效地檢測器件或材料內(nèi)部的開裂、氣泡、雜質(zhì)、斷層等缺陷。
其主要工作原理是，通過壓電陶瓷將電信號轉(zhuǎn)換成超聲波（>20KHz），用超聲波對樣品內(nèi)部進行高精度地掃描，根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異，獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射，再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構(gòu)成為，電氣部件、機械裝置、聲學部件、軟件系統(tǒng)。
SONIX ECHO VS™ 是專為更高精度要求，更復雜元器件設(shè)計的新一代設(shè)備。
廣泛應用在 Flip chips，Stacked die，Bumped die，Bonded wafers 等。
美國SONIX 超聲波掃描顯微鏡 ECHO-LS
● 高分辨率下，掃描速度是傳統(tǒng)超聲波掃描顯微鏡的2.5倍
● 波形模擬器(Waveform Simulator)及波束仿真(Beam Emulator)
● 掃描分辨率小于1微米
● 水溫控制系統(tǒng)及紫外殺菌系統(tǒng)超高頻狀態(tài)工作下，信號更穩(wěn)定
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