美國(guó)SONIX超聲波掃描顯微檢測(cè)系統(tǒng)

簡(jiǎn)介

全自動(dòng)超聲波掃瞄顯微鏡, 晶圓檢測(cè)設(shè)備 AutoWafe Pro, 封裝檢測(cè)設(shè)備ECHO-LS:

SONIX™公司是世界500強(qiáng)丹納赫集團(tuán)(NYSE: DHR)下的全資子公司，是全球超聲波掃描檢測(cè)儀和無(wú)損檢測(cè)設(shè)備的制造商。 自1986年成立以來(lái)，SONIX™在無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新，是一家基于微機(jī)平臺(tái)，提供全數(shù)字化成像方案的公司。 SONIX™ 一直致力于技術(shù)革新，提供給客戶的聲學(xué)檢測(cè)技術(shù)。

SONIX™ 設(shè)備被廣泛應(yīng)用于各種材料的無(wú)損檢測(cè)，包括半導(dǎo)體，汽車零件和其他先進(jìn)元件。 擁有獨(dú)立開(kāi)發(fā)的軟件，硬件和技術(shù)，這么多年來(lái)通過(guò)和客戶的不斷合作，實(shí)現(xiàn)了SAM技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)。 SONIX™ 努力提供最準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，圖像質(zhì)量，非凡的操作性和設(shè)備的高可靠性，從而為客戶提高效率，節(jié)約成本。

優(yōu)勢(shì)

一 、提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量，使用ECHO 的設(shè)備和軟件：

（1）容易的設(shè)置和使用

（2）工藝過(guò)程監(jiān)測(cè)

（3）合格/失效分選

（4）專業(yè)認(rèn)證

二、SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類型的應(yīng)用和材料。

三、SONIX Echo-LS 能檢測(cè)到小至 0.05um 的缺陷，而且對(duì)于bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有的檢測(cè)性能。

封裝檢測(cè)設(shè)備

ECHO-LS™

ECHO-VS 超聲波掃描顯微鏡

SONIX ECHO VS™ 是專為更高精度要求，更復(fù)雜元器件設(shè)計(jì)的新一代設(shè)備。廣泛應(yīng)用在 Flip chips，Stacked die，Bumped die，Bonded wafers 等。

● 高分辨率下，掃描速度是傳統(tǒng)超聲波掃描顯微鏡的2.5倍

● 波形模擬器(Waveform Simulator)及波束仿真(Beam Emulator)

● 掃描分辨率小于1微米

● 水溫控制系統(tǒng)及紫外殺菌系統(tǒng)超高頻狀態(tài)工作下，信號(hào)更穩(wěn)定

ECHO Pro™全自動(dòng)超聲波掃瞄顯微鏡

全自動(dòng)生產(chǎn)型:

● 批量 Tray盤和框架直接掃瞄

● 編程自動(dòng)判別缺陷

● 高產(chǎn)量,無(wú)需人員重復(fù)設(shè)置

● 自動(dòng)烘干

晶圓檢測(cè)設(shè)備 AutoWafe Pro.

SONIX AutoWafer Pro™ 是專為全自動(dòng)晶圓檢測(cè)設(shè)計(jì)的機(jī)型，主要應(yīng)用在Bond wafer，MEMS 內(nèi)部空洞、離層檢測(cè)，TSV量測(cè)方面。

● 使用于200和300mm晶圓

● 符合一級(jí)凈化間標(biāo)準(zhǔn)

● Cassette裝載，全自動(dòng)檢測(cè)，支持FOUP或FOSB機(jī)械臂

● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協(xié)議

● KLARF輸出文件

Pulse 2™  信號(hào)發(fā)生器/接收器- 適合所有 ECHO & AutoWafer 設(shè)備

● 相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)發(fā)生器/接收器可獲得 +12dB

● SNR比例(Signal-to-noise Ratio)具備4x 倍進(jìn)展

● 從低層次的背景噪聲中分隔信號(hào)

● 產(chǎn)生干凈，清晰的圖像，即使在超高頻的信號(hào)轉(zhuǎn)換器

超聲波探頭 - 適合所有 ECHO 系列

Sonix S-series Transducer 超聲波探頭是為了滿足半導(dǎo)體制造商的高要求而設(shè)計(jì)的:

● 自家研發(fā)

● 頻率范圍寬闊

● 結(jié)構(gòu)堅(jiān)固

可調(diào)的托盤夾具  (NEW !!)

配件編號(hào): 600-5100

使用平臺(tái): ECHO LS, ECHO, ECHO VS

應(yīng)用: 基板, 托盤, 晶圓優(yōu)點(diǎn):

• 方便使用 - 節(jié)省時(shí)間

• 樣品被很好的固定起來(lái)掃描, 可獲得更好的圖像

• 托盤, 基板, 晶圓均可使用

• 適用于現(xiàn)有的 ECHO 機(jī)型平臺(tái)

• 申請(qǐng)中　

透射桿擴(kuò)展裝置  (NEW !!)

配件編號(hào): 中尺寸 (180mm) 組件編號(hào): 600-2323A / 全尺寸組件編號(hào) : 600-2324A

使用平臺(tái): ECHO LS, ECHO, ECHO VS

應(yīng)用: 晶圓, 托盤, 基板 優(yōu)點(diǎn):

• 使用方便 - 安裝簡(jiǎn)單, 節(jié)省時(shí)間

• 2種尺寸 (180mm and 250mm) 可滿足絕大部分產(chǎn)品尺寸需求

• 適用與現(xiàn)有 ECHO 機(jī)型平臺(tái)

• *需要 Sonix 新一代大直徑透射桿　

晶圓夾具 (與可調(diào)的托盤夾具搭配使用)   (NEW !!)

配件編號(hào): 600-5200

使用平臺(tái): ECHO LS, ECHO, ECHO VS

應(yīng)用: 300mm 晶圓

優(yōu)點(diǎn):

• 可以簡(jiǎn)單的與 Sonix 申請(qǐng)中的可調(diào)的托盤夾具搭配使用

• 安全固定 300mm 晶圓, 提供最佳的成像能力

• 適用于有翹曲的晶圓, 保持晶圓平整

• 適用于現(xiàn)有的 ECHO 機(jī)型平臺(tái)

SONIX 軟件優(yōu)勢(shì)

● 可編程掃描，自動(dòng)分析

   定制掃描程序，一鍵開(kāi)始掃描，自動(dòng)完成分析，生成數(shù)據(jù)

● FSF表面跟蹤線

   樣品置于不平的情況下，自動(dòng)跟蹤平面，獲取同一層面圖片

● ICEBERG離線分析

   存儲(chǔ)數(shù)據(jù)后，可在個(gè)人電腦上進(jìn)行再次分析

● TAMI斷層顯微成象掃描

   無(wú)需精確選擇波形，可任意設(shè)定掃描深度及等分厚度，一次掃描可獲得200張圖片，最快速完成分析。

SONIX 軟件 -  應(yīng)用于塑封FlipChip和Stacked Die產(chǎn)品的成像功能

SONIXTM 的Flexible TAMITM設(shè)計(jì)

專為需要檢測(cè)由不同層厚和材料組成的多層封裝產(chǎn)品,例如:

● 3-D架構(gòu)

● Stacked Die

● Bonded wafers

● Wafer 級(jí)封裝 (WLP)

● 塑封Flip Chips

SONIX 硬件優(yōu)勢(shì)

● 緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

   模塊化設(shè)計(jì)使得結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定，易于維護(hù)

● 高速、穩(wěn)定的馬達(dá)設(shè)計(jì)

   掃描軸采用的線性伺服馬達(dá)，提供高速、穩(wěn)定、無(wú)磨損的掃描

● 超聲波探頭/透鏡

   提供精確的缺陷檢驗(yàn)，最小能探測(cè)到僅0.1微米厚度的分層。

● PETT技術(shù)

   反射及透射同時(shí)掃描，有效提高元器件分析效率

美國(guó)SONIX超聲波掃描顯微檢測(cè)系統(tǒng)

特點(diǎn)

SONIX Echo-LS 能檢測(cè)到小至 0.05um 的缺陷，而且對(duì)于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有的檢測(cè)性能。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量，使用 ECHO 的設(shè)備和軟件容易的設(shè)置和使用。

工藝過(guò)程監(jiān)測(cè)

合格/失效分選

專業(yè)認(rèn)證

SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類型的應(yīng)用和材料。

優(yōu)勢(shì)：

減少實(shí)驗(yàn)室空間（占地面積?。?/span>

鍵盤快捷鍵（方便移動(dòng)操作）

全焊接機(jī)身框架（促進(jìn)平臺(tái)穩(wěn)定性）

降低水槽高度（人體工程學(xué)設(shè)計(jì)）

可同時(shí)進(jìn)行反射掃描和透射掃描

最大 360 度可視

超大掃描面積

水槽底部?jī)A斜（易于排干水）

探頭隨 Z 軸移動(dòng)（取代托盤上下移動(dòng)）

可滑動(dòng)支架

符合歐洲機(jī)械指令

緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)（低維護(hù)）

符合 CE,SEMI S2,NRTL

可滑動(dòng)的電氣面板（方便維護(hù)）

防靜電涂層（安全罩、水槽、門等）

規(guī)格參數(shù)：

掃描軸（X 軸）：

定位裝置： 線性伺服馬達(dá)

最大速度：1000mm/sec

重復(fù)精度：+/-0.5um

編碼器分辨率：0.5um

最大掃描區(qū)域：350mm

步進(jìn)軸（Y 軸）：

定位裝置：低電磁干擾導(dǎo)軌式步進(jìn)馬達(dá)

分辨率：0.25um

最大掃描區(qū)域：350mm

聚焦軸（Z 軸）：

定位裝置：低電磁干擾導(dǎo)軌式步進(jìn)馬達(dá)

分辨率：0.25um

最大行程：50mm

夾具：

JEDEC 標(biāo)準(zhǔn)尺寸托盤夾具

掃描平臺(tái)可固定*的托盤夾具

透射桿探頭固定

機(jī)臺(tái)尺寸：

W31"xD31"xH48’’(約長(zhǎng) 79cm*寬 79cm*高 122cm)

流體系統(tǒng)：

循環(huán)泵和 5um 過(guò)濾器

超聲波儀器

DPR500 接收器 配置 L2/H4 脈沖發(fā)生器

可選 U4 超高頻脈沖發(fā)生器

其它：

帶腳輪的擺放桌

緊急開(kāi)關(guān)和安全鎖

較低的取放樣品區(qū)域

其它特色軟件功能選項(xiàng)

TAMI  SCAN: 一次掃描得到最多 200 張斷層圖像

ICEBERG: 強(qiáng)大的離線分析技術(shù)

WinIC Pro: 增加功能和分析

WinIC Offiline：遠(yuǎn)程分析

Waveform Simulator/Beam Emulator ：波形仿真器

ECHO 機(jī)臺(tái)面板與 WinIC 軟件的組合，給用戶提供一個(gè)強(qiáng)大、簡(jiǎn)易使用的分析工具。WinIC 軟件是 Sonix 公司研發(fā)的超聲波掃描顯示鏡成像軟件，提供先進(jìn)的圖像分析功能以幫助定量和定性分析圖像數(shù)據(jù)。WinIC 使用大量的圖形和屏幕指導(dǎo)幫助所有用戶，從入門到精通。

SONIX 軟件優(yōu)勢(shì)　

● 可編程掃描，自動(dòng)分析

   定制掃描程序，一鍵開(kāi)始掃描，自動(dòng)完成分析，生成數(shù)據(jù)          

● FSF表面跟蹤線

   樣品置于不平的情況下，自動(dòng)跟蹤平面，獲取同一層面圖片          

● ICEBERG離線分析

   存儲(chǔ)數(shù)據(jù)后，可在個(gè)人電腦上進(jìn)行再次分析

● TAMI斷層顯微成象掃描

   無(wú)需精確選擇波形，可任意設(shè)定掃描深度及等分厚度，一次掃描可獲得200張圖片，最快速完成分析。

SONIX 軟件 -  應(yīng)用于塑封FlipChip和Stacked Die產(chǎn)品的成像功能