您好, 歡迎來(lái)到化工儀器網(wǎng)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬(wàn)-80萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,印刷包裝,電氣 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體行業(yè)低相位差高速檢查設(shè)備 RE-200
半導(dǎo)體行業(yè)低相位差高速檢查設(shè)備適用于光軸的高精度管理！ 3σ≦0.02°
低相位差測(cè)量
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
• 可測(cè)從0nm開始的低（殘留）相位差
• 光軸檢出同時(shí)可高速測(cè)量相位差(Re.)
（相當(dāng)于0.1秒以下來(lái)處理）
• 無(wú)驅(qū)動(dòng)部，重復(fù)再現(xiàn)性高
• 設(shè)置的測(cè)量項(xiàng)目少，測(cè)量簡(jiǎn)單
• 測(cè)量波長(zhǎng)除了550nm以外，還有各種波長(zhǎng)
• Rth測(cè)量、方位角測(cè)量
（需要option的自動(dòng)旋轉(zhuǎn)傾斜治具
• 通過(guò)與拉伸試驗(yàn)機(jī)組合，可同時(shí)評(píng)價(jià)膜的偏光特性和光弾性
(本系統(tǒng)屬特注。）
測(cè)量項(xiàng)目
• 相位差（ρ[deg.], Re[nm]）
• 主軸方位角（θ[deg.]）
• 橢圓率（ε）?方位角（γ）
• 三次元折射率（NxNyNz）
用 途
• 位相差膜、偏光膜、橢圓膜、視野角改善膜、各種功能性膜
• 樹脂、玻璃等透明、非均質(zhì)材料（玻璃有變形，歪曲等）
原 理
• 什么是RE-200
• RE-200是光子結(jié)晶素子（偏光素子）、CCD相機(jī)構(gòu)成的偏光計(jì)測(cè)模塊和透過(guò)的偏光光學(xué)系相組合，可高速且高精度的測(cè)量位相差（相位差）、及主軸方位角。CCD相機(jī)1次快門獲取偏光強(qiáng)度模式，沒(méi)有偏光子旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，系統(tǒng)整體上是屬于小型構(gòu)造，長(zhǎng)時(shí)間使用也能維持穩(wěn)定的性能。
仕 樣
型號(hào) | RE series |
|---|---|
樣品尺寸 | 小10×10mm ～大100×100mm |
測(cè)量波長(zhǎng) | 550nm （標(biāo)準(zhǔn)仕樣）※1 |
相位差測(cè)量范圍 | 約0nm ～約1μm |
軸檢出重復(fù)精度 | 0.05°（at 3σ） ※2 |
檢出器 | 偏光計(jì)測(cè)模塊 |
測(cè)量光斑直徑 | 2.2mm×2.2mm |
光源 | 100W 鹵素?zé)艋?LED光源 |
本體?重量 | 300(W) × 560(H) ×430（D) mm 、約20kg |
Option
• Rth測(cè)量、方位角測(cè)量※治具本體（旋轉(zhuǎn)：180°, 傾斜：±50°）
• 動(dòng)旋轉(zhuǎn)傾斜治具