目錄:北京睿信捷環(huán)?？萍加邢薰?/a>>>測量儀器>>質量流量控制器>> 標準型質量流量控制器
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,電氣,綜合 |
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21 系列標準型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳 感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用 戶標準工況進行修正。具有 NIST 可溯源校準證書。 可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質量流量、體積流量、壓力，并 顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質電磁 閥以及優(yōu)化的 PID 調校，可達到優(yōu)于 100 ms 的控制速度，并保持穩(wěn) 定性，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。
行業(yè)應用
● 大學 / 研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半 導 體
● 汽車制造
● 光 伏
● 燃料電池
● 計量校準
● 過程工藝氣體測量
精度升級
量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM， 其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃溫差 ± 0.01% 滿量程 / Atm 壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀 數(shù) / ℃溫差 ± 0.1 % 讀 數(shù) / Atm 壓力差
標準型質量流量控制器性能指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了 98 種氣體，請參考背面 一臺設備內置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM
測量和控制范圍 0.01~100% 滿量程
最大顯示流量 128 % 滿量程
最大可控流量 102.4 % 滿量程
顯 示 屏 按鍵操作，標準為 LCD 黑白
顯示屏（帶背光）， 可選 TFT 彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角
±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外增加 ±0.5% 讀數(shù)的額外誤差
重 復 性 ± 0.2 % 滿量程
零點漂移 & 滿量程漂移 0.02 % 滿量程 / ℃ / Atm
響應時間 優(yōu)于 100 ms
預熱時間 ＜ 1 s 標定工況 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至 100℃）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ~ 95 %，無冷凝
最大工作壓力 1 MPaG（可選 2 MPaG 高壓選項）
低操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓 80 KPaA 以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞ 1Atm）或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）
滿量程壓損 參考背面詳細壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號 40 Hz@19200 波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入 / 輸出信號 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、 EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232/RS485）
模擬輸入 / 輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
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