真空井式坩堝爐

本設(shè)備是由石英坩堝（或氧化鋁陶瓷坩堝）和不銹鋼法蘭組成的真空坩堝爐。主要用于煅燒真空或惰性氣體保護(hù)下的高純度化合物或擴(kuò)散半導(dǎo)體晶片，也可用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料。

型號(hào) JZJL1200 JZJL1400 JZJL1700

工作溫度 ＞1200℃ ＞1400℃ ＞1700℃

加熱元件 電阻絲 硅碳棒 硅鉬棒

熱電偶 K型 S型 B型

控溫方式 30段可編程自動(dòng)控制，PID調(diào)節(jié)控溫精度

大真空度 -0.1MPa

爐膛材料 陶瓷纖維板

爐殼 雙層爐殼，風(fēng)冷結(jié)構(gòu)（爐底安裝兩個(gè)散熱風(fēng)扇），爐殼表面溫度低于60度

額定功率 1KW—8KW

常用爐膛尺寸 Φ40xH300mm；Φ60xH300mm；Φ80xH300mm；Φ100xH300mm, Φ120xH300mm   Φ300xH300mm         

四、溫控程序?qū)?yīng)符號(hào)及其意義：

提示符 輸入數(shù)據(jù) 意義

C 01 0 起始溫度值

t 01 60 從0~300℃的升值時(shí)間為60分鐘

C 02 300 目標(biāo)溫度值

t 02 10 300℃保溫時(shí)間10分鐘

C 03 300 第二個(gè)目標(biāo)溫度值

t 03 240 從300~1500℃的升值時(shí)間為240分鐘

C 04 1500 第三個(gè)目標(biāo)溫度值

t 04 30 1500℃恒溫時(shí)間10分鐘

C 05 1500 第四個(gè)目標(biāo)溫度值

t 05 260 從1500~200℃的升值時(shí)間為260分鐘

C 06 200 第五個(gè)目標(biāo)溫度值

t 06 －121 程序運(yùn)行結(jié)束，自然降溫

五、常見(jiàn)故障及故障排除 

故障現(xiàn)象 故障原因 排除方法

打開控制電源開關(guān)Lock無(wú)電源指示 控制線路FU1 4A保險(xiǎn)絲斷 檢查有無(wú)短路排除后更換保險(xiǎn)絲

綠色Power指示燈滅，紅色Open circuit指示燈亮。 主電路FU2 32A保險(xiǎn)絲斷 檢查有無(wú)短路排除后更換保險(xiǎn)絲

電壓 大，無(wú)電流。 硅鉬棒斷裂 更換硅鉬棒

儀表SV交替顯示OraL 熱電偶斷路 更換熱電偶

儀表SV交替顯示HIAL 爐體超過(guò)上限溫度1700℃儀表起保護(hù) 溫度降至安全溫度后儀表自動(dòng)恢復(fù)正常（檢查超溫原因）

電源及硅鉬棒都正常，但爐體不能升溫 控制線路損壞 通知專業(yè)維修人員。