主要特點和技術(shù)參數(shù)：

一、棱鏡部和硅探測器部可整體旋轉(zhuǎn)360°，重復(fù)定位精度＜0.005°。

二、棱鏡部

• 可實現(xiàn)1維旋轉(zhuǎn)，2維平移，1維傾斜調(diào)整
• TZ旋轉(zhuǎn)：采用蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)，電機驅(qū)動。旋轉(zhuǎn)范圍：360°；重復(fù)定位精度：＜0.005°
• X軸平移：交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向，精研絲杠副傳動，步進電機驅(qū)動。行程：30mm；重復(fù)定位精度：＜0.005mm。
• Y軸平移：采用測微頭調(diào)整，調(diào)整范圍：25mm；靈敏度：0.002mm；精度：0.005mm。
• X、Y軸傾斜：帶鎖緊細(xì)牙螺桿調(diào)整，調(diào)整范圍：-1.5°—+4.5°

三、硅探測器部

•  Y軸平移：燕尾副導(dǎo)軌導(dǎo)向，承載大，精研絲杠驅(qū)動，驅(qū)動力大。調(diào)整范圍：50mm；精度：0.01mm。
• 硅探測器：采用日本濱松器件，感光面積：100（10x10）mm2 ；波長使用范圍：190-1100nm。
• *啟狹縫：刀片雙向?qū)ΨQ開啟，測微頭調(diào)整可定量讀數(shù)?？p寬：0-3mm；zui小讀數(shù)：0.01mm；縫高：14mm。
• 偏光鏡架：采用精密軸系旋轉(zhuǎn)調(diào)整，定位穩(wěn)定、可靠；周圈360°刻劃，方便讀數(shù)；可兩維傾斜調(diào)整。旋轉(zhuǎn)調(diào)整范圍：360°；zui小讀數(shù)：2°；傾斜調(diào)整范圍：±5°。