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生物顯微鏡微干涉觀(guān)察
微分干涉觀(guān)察法是將用明場(chǎng)觀(guān)察法可能觀(guān)察不到的式樣高度微小差異通過(guò)改善對(duì)比法變?yōu)榱Ⅲw或三維圖象的顯微觀(guān)察技術(shù).照明光由微分干涉對(duì)比棱鏡變?yōu)閮墒苌涔?/span>,這兩束衍射光使式樣高度差異造成在光路上的微小差異.而光路差異變?yōu)槔梦⒎指缮鎸?duì)比棱鏡和檢驗(yàn)偏振器的明暗對(duì)比.在利用敏感色板,加強(qiáng)了高度差異的顏色變化.適用于檢測(cè)包括金相結(jié)構(gòu)、礦物、磁頭、硬磁盤(pán)表面和晶片精制表面等有極其微細(xì)高度差異的式樣。偏振光觀(guān)察法:是使用由兩個(gè)一組的濾色鏡(檢偏振器和起偏振器)形成偏光的顯微觀(guān)察技術(shù)。這些偏光始終保持相互垂直。一些式樣在兩個(gè)濾色鏡之間呈鮮明的對(duì)比,或根據(jù)折射性能和定向(即:鋅結(jié)構(gòu)的拋光式樣)呈現(xiàn)顏色。在偏振器插在目鏡前的觀(guān)察光路時(shí),起偏振器位垂直照明前的光路。適用于觀(guān)察金相結(jié)構(gòu)(既球墨鑄鐵的石墨增長(zhǎng)形態(tài))礦物和液晶(LCD)以及半導(dǎo)體材料熒光觀(guān)察法:本技術(shù)用于發(fā)出熒光的式樣適合利用熒光法檢測(cè)晶片的污染,感光性樹(shù)脂的殘留物,以及檢測(cè)裂縫。
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