HMDS真空鍍膜機(jī),是一種在半導(dǎo)體制造中用于改善基材表面特性的關(guān)鍵設(shè)備。其主要作用是在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理,以提高光刻工藝的質(zhì)量和效率。
HMDS真空鍍膜機(jī)的工作原理和特點(diǎn):
設(shè)備組成:HMDS真空鍍膜機(jī)主要由腔體、真空系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、充氮系統(tǒng)、加液系統(tǒng)及控制系統(tǒng)等組成。這些系統(tǒng)共同作用,確保硅片表面干燥、潔凈,并有效防止硅片的氧化和雜質(zhì)擴(kuò)散。
預(yù)處理過(guò)程:通過(guò)多次預(yù)抽真空和熱氮加熱,設(shè)備能夠在硅片表面形成一層HMDS保護(hù)膜。這種處理可以降低硅片的接觸角,提高光刻膠與硅片的黏附性,從而降低光刻膠的用量。
自動(dòng)化控制:設(shè)備采用PLC工控自動(dòng)化系統(tǒng)和觸摸屏操作界面,實(shí)現(xiàn)人機(jī)交互的便捷性和操作的高可靠性。此外,它還能根據(jù)不同制程條件調(diào)整程序、溫度、真空度及處理時(shí)間。
高效處理能力:HMDS真空鍍膜機(jī)以蒸汽形式均勻涂布晶片表面,一次性可以處理多達(dá)4盒以上的晶片,大幅節(jié)省藥液使用。
應(yīng)用范圍:這種設(shè)備主要應(yīng)用于光刻的前道工序,適用于MEMS器件制備、半導(dǎo)體、光電、LED、電工電子、柔性電子器件制備等領(lǐng)域。
后續(xù)操作建議:
在使用HMDS真空鍍膜機(jī)進(jìn)行基材預(yù)處理后,可以按照以下步驟進(jìn)行后續(xù)操作:
光刻膠涂覆:在HMDS處理后的基材上涂覆光刻膠,以準(zhǔn)備進(jìn)行光刻工藝。
光刻工藝:進(jìn)行光刻步驟,將電路圖案轉(zhuǎn)移到涂覆了光刻膠的基材上。
顯影和刻蝕:顯影光刻膠,然后進(jìn)行刻蝕工藝,以形成所需的電路圖案。
清洗和檢測(cè):完成光刻和刻蝕后,清洗基材以去除殘留物,并進(jìn)行必要的檢測(cè)以確保工藝質(zhì)量。
通過(guò)這些步驟,可以確保半導(dǎo)體制造過(guò)程中的精度和可靠性,提高產(chǎn)品的整體質(zhì)量和性能。
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