微電子制造商在生產(chǎn)中會遇到各種有機污染物，并經(jīng)歷各種挑戰(zhàn)，包括：

Sievers M9e和M500e TOC分析儀

Sievers CheckPointe TOC傳感器

Sievers InnovOx TOC分析儀

Sievers M9e在線和便攜式TOC分析儀專為最復(fù)雜的水系統(tǒng)和應(yīng)用而設(shè)計。該分析儀的分析范圍為0.03 ppb至50 ppm，使用膜電導(dǎo)率技術(shù)，精確檢測系統(tǒng)給水、反滲透產(chǎn)水和最終產(chǎn)水中的TOC濃度。使用可選配的Turbo模式，僅需4秒分析時間，Sievers M9e分析儀是適合于回用水檢測的理想故障排查工具。

Sievers M500e和上一代500 RLe TOC分析儀設(shè)計用于低濃度TOC檢測。這兩款分析儀的操作范圍為0.03 ppb至2.5 ppm，是目前市場上無試劑、在線超純水TOC分析儀的Z低檢測限。

2020年，Sievers推出了500 RLe的下一代產(chǎn)品Sievers M500e分析儀，改進包括：

• 沖洗時間縮短50%，在現(xiàn)場低濃度校準（250 ppb）或年度維護后，該儀器可更快投入生產(chǎn)，回到工作狀態(tài)

• 10英寸觸摸屏，可實現(xiàn)更快、更直觀的設(shè)置和操作

• 數(shù)字化升級，如遠程訪問、WiFi功能，改進了數(shù)據(jù)傳輸和管理選項，以及逐步的向?qū)?/p>

• 改進了電導(dǎo)率范圍（0.01-800 µS/cm），同時也可以顯示為電阻率

• 使用異丙醇（IPA）的100 ppb確認協(xié)議

• 自適應(yīng)自動調(diào)零，可根據(jù)先前的結(jié)果自動預(yù)測頻率

另一款微電子應(yīng)用的基本儀器是Sievers超純水硼分析儀。Sievers硼分析儀可預(yù)測混床耗盡，優(yōu)化EDI性能，并控制拋光回路的硼濃度。在釋放二氧化硅之前，Sievers硼分析儀可檢測到硼濃度升高，從而有助于防止二氧化硅泄漏到超純水中。Sievers硼分析儀可顯著減少運營費用，并保持超純水系統(tǒng)的質(zhì)量。

具有0.05到1000 ppb的分析范圍，Sievers CheckPointe是適用于解決問題和診斷的理想儀器。該儀器采用直接電導(dǎo)率法，具有優(yōu)異的輕便性（3.6千克），并且：

• 能夠接受加壓或非加壓的樣品

• 可用于監(jiān)測分配點、生產(chǎn)工具或尚未建立監(jiān)測的任意一點

• 根據(jù)一臺參照TOC分析儀進行校準，可實現(xiàn)優(yōu)異的低TOC濃度時，傳感器對傳感器的匹配

為了實現(xiàn)工藝性能和優(yōu)化批量生產(chǎn)，在過氧化氫、氫氧化鈉、氫氧化銨、硫酸和其他蝕刻/電鍍化學(xué)品等工藝化學(xué)品中，控制TOC至關(guān)重要。Sievers InnovOx TOC分析儀非常適用于此類監(jiān)測以及廢水和回用水中的有機物監(jiān)測。