1. 掃描電子顯微鏡測量的樣品制備

掃描電子顯微鏡可以測量各種樣品，但根據(jù)樣品的不同，可能需要適當?shù)臉悠分苽浜蜏y量條件。

絕緣樣品
當使用絕緣樣品時，樣品表面可能會因照射的電子束而帶電。如果發(fā)生充電，圖像可能會變形或觀察到對比度異常，這可能會妨礙獲得準確的圖像數(shù)據(jù)。為了防止帶電，需要采取在樣品表面濺射一薄層金屬、在低加速電壓下觀察、在低真空狀態(tài)下觀察等措施。

高真空條件下蒸發(fā)或升華的樣品
如果在高真空條件下發(fā)生蒸發(fā)或升華，不僅會導致樣品的結構和形狀發(fā)生變化，還可能導致設備故障。為了防止這些問題，采取低真空下測量等措施是有效的。此外，含有大量水分的生物樣品即使在低真空下觀察也通常需要額外的預處理。

磁性樣品
使用磁性樣品時，如果電子透鏡與樣品之間的距離較近，樣品會被磁化，難以調(diào)整電子束。如果樣品較大，可能會從樣品臺上脫落并堅持鏡頭也有可能最終會失敗。為了防止這些問題，需要使用鏡外法的掃描電子顯微鏡，并用螺釘或粘合劑固定樣品。

當您想要觀察樣品的內(nèi)部時
如果您想在不使用下述透射模式的情況下觀察樣品的內(nèi)部，則需要使用聚焦離子束 (FIB) 處理樣品并觀察橫截面。

2. 掃描電子顯微鏡安裝的主要分析裝置

當用加速電子束照射樣品時，不僅可以獲得二次電子和背散射電子等信號，還可以獲得透射電子、X射線、陰極發(fā)光和吸收電子等信號?？梢赃B接分析儀來檢測這些信號。

透射電子
如果樣品足夠薄或含有顆粒，一些被照射的電子將穿過并被檢測為透射電子。通常使用透射電子顯微鏡或掃描透射電子顯微鏡（STEM）等獨立的測量裝置進行測量，但也可能使用掃描電子顯微鏡配備的透射模式?？梢杂^察內(nèi)部結構，這是掃描電子顯微鏡難以做到的。

X射線
當用電子束照射原子時，除了電子束之外還可以發(fā)射X射線。由于這些 X 射線的每個原子都具有 的能量，因此可以通過檢測發(fā)射的 X 射線來識別樣品表面上存在的原子類型。

當連接并測量 X 射線探測器時，可以執(zhí)行元素映射，不僅顯示樣品表面上的原子組成，還可以在圖像數(shù)據(jù)上顯示哪些原子存在于樣品的哪些部分。 X射線探測器有兩種類型：能量色散X射線探測器（EDS）和波長色散X射線探測器（WDS），每種探測器都有不同的特性，必須根據(jù)用途進行選擇。

陰極發(fā)光
陰極發(fā)光是用電子束照射樣品時發(fā)出的光，通過檢測該光，可以測量樣品的晶體特性，例如晶體缺陷、雜質(zhì)和載流子濃度。

通過添加其他選項可以添加各種功能。與使用單獨的測量裝置進行測量相比，該方法的優(yōu)點是能夠在觀看掃描電子顯微鏡圖像的同時選擇測量位置，從而可以進行更詳細的測量。