氣體質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量不同的氣體會(huì)怎么樣?
某客戶(hù)有一臺(tái)工質(zhì)為氮?dú)獾臒崾搅髁坑?jì),把易度層流壓差式流量計(jì)工質(zhì)設(shè)置為氮?dú)?,兩個(gè)流量計(jì)串在一起進(jìn)行比對(duì)。通入氮?dú)鈺r(shí),兩個(gè)流量計(jì)讀數(shù)一致。但在通入氦氣時(shí),發(fā)現(xiàn)兩個(gè)流量計(jì)讀數(shù)相差很大??蛻?hù)覺(jué)得至少有一個(gè)流量計(jì)是有問(wèn)題的,事實(shí)果真如此嗎?
我們不妨來(lái)計(jì)算一下氮?dú)饬髁坑?jì)通入氦氣時(shí)的顯示流量值。為了便于計(jì)算,假如串聯(lián)的兩臺(tái)流量計(jì)前端有一臺(tái)精確的氦氣流量控制器,控制氦氣流量為100SLPM。
先看熱式流量計(jì),通入了不同的氣體時(shí)必須使用轉(zhuǎn)換系數(shù),查詢(xún)某廠商某型號(hào)熱式流量計(jì)從氮?dú)獾胶獾霓D(zhuǎn)換系數(shù)約為1.4(不同品牌型號(hào)的熱式流量計(jì)轉(zhuǎn)換系數(shù)也不同),因此這臺(tái)熱式流量計(jì)的當(dāng)前讀數(shù)應(yīng)該是100÷1.4=71SLPM。
再看層流壓差式流量計(jì),它通過(guò)氣體黏度來(lái)區(qū)分不同類(lèi)型的氣體,根據(jù)哈根·泊肅葉定律,流量計(jì)算值與黏度成反比,此時(shí)通入氦氣但使用了氮?dú)獾酿ざ戎祬⑴c計(jì)算,查詢(xún)得知氦氣與氮?dú)獾酿ざ缺燃s為1.11,因此這臺(tái)層流壓差式流量計(jì)的當(dāng)前讀數(shù)應(yīng)該是100÷1.11=90SLPM。
可以看到這兩臺(tái)流量計(jì)雖然都是氮?dú)饬髁坑?jì),雖然都是通入了100SLPM氦氣,但是數(shù)值上卻有很大的區(qū)別!這主要是由于測(cè)量原理不同造成的。
從上面的計(jì)算過(guò)程可以看出,如果要精確測(cè)量流量,流量計(jì)的工質(zhì)應(yīng)當(dāng)與實(shí)際氣體類(lèi)型一致。當(dāng)然如果是使用易度層流壓差式流量計(jì)就可以很輕松地切換工質(zhì),實(shí)現(xiàn)一臺(tái)流量計(jì)精確測(cè)量多種氣體的目的。
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