力敏器件是力學量敏感器件的簡稱。它具有將被測物體的力學量,例如荷重、位移、壓力、拉力、應力、加速度、振動、扭矩等轉變成電量的功能。因此,力敏器件被廣泛應用于自動衡器、精密檢測儀器與工業(yè)自動化等領域中,下面簡單介紹一下它的種類、參數及應用。
1.力敏器件的種類
力敏器件的種類很多,有電阻絲應變片、半導體應變片、擴散硅應變片、薄膜應變片、力敏電阻、壓力開關、壓敏二極管、壓敏三極管、集成硅力敏器件等。其中半導體應變片又有P型硅、N型硅、P-N結溫度自補償硅,靈敏系數補償型、非線性補償型等多種類型。利用力敏器件制成的力學量傳感器,主要有壓力傳感器、加速度傳感器、角度傳感器、位移傳感器、差壓傳感器、負載傳感器、荷重傳感器、扭矩傳感器、振動傳感器、斜度傳感器、半導體壓力傳感器及各種小型壓力傳感器等。
力敏器件的種類很多,有電阻絲應變片、半導體應變片、擴散硅應變片、薄膜應變片、力敏電阻、壓力開關、壓敏二極管、壓敏三極管、集成硅力敏器件等。其中半導體應變片又有P型硅、N型硅、P-N結溫度自補償硅,靈敏系數補償型、非線性補償型等多種類型。利用力敏器件制成的力學量傳感器,主要有壓力傳感器、加速度傳感器、角度傳感器、位移傳感器、差壓傳感器、負載傳感器、荷重傳感器、扭矩傳感器、振動傳感器、斜度傳感器、半導體壓力傳感器及各種小型壓力傳感器等。
2.力敏器件的主要參數
力敏器件的電阻值隨相對形變的加大而增大,電阻值為正時表示拉伸;反之為壓縮。在—定范圍內,電阻值與形變成直線關系,隨著形變的加大,兩者就成為非線性關系。此外,電阻值變化還與溫度有關,當溫度變化一度,電阻值變化的百分數稱為溫度系數。力敏器件應變片形變值與電阻值的變化關系,如建立△R/R=K△L/L,則K即為靈敏度系數。半導體應變片的靈敏度系數為100-150,壓敏二極管為1000,壓敏三極管則更高。當溫度升高時,為敏器件的靈敏度下降,溫度每升高l℃,靈敏度系數下降的百分比,稱為靈敏度溫度系數。力敏器件有時會由于環(huán)境溫度的變化而引起零點輸出變化。在工作溫度范圍內,環(huán)境溫度每變化一度時,引起的零點輸出變化與額定輸出的百分比,稱為溫度零點漂移。
力敏器件的電阻值隨相對形變的加大而增大,電阻值為正時表示拉伸;反之為壓縮。在—定范圍內,電阻值與形變成直線關系,隨著形變的加大,兩者就成為非線性關系。此外,電阻值變化還與溫度有關,當溫度變化一度,電阻值變化的百分數稱為溫度系數。力敏器件應變片形變值與電阻值的變化關系,如建立△R/R=K△L/L,則K即為靈敏度系數。半導體應變片的靈敏度系數為100-150,壓敏二極管為1000,壓敏三極管則更高。當溫度升高時,為敏器件的靈敏度下降,溫度每升高l℃,靈敏度系數下降的百分比,稱為靈敏度溫度系數。力敏器件有時會由于環(huán)境溫度的變化而引起零點輸出變化。在工作溫度范圍內,環(huán)境溫度每變化一度時,引起的零點輸出變化與額定輸出的百分比,稱為溫度零點漂移。
3.力敏器件的應用
力敏器件的應用范圍很廣,電阻絲應變片可以用作稱重元件。當重物在應變片彈性體上荷重后,會產生與荷重相應的應變,將此應變的電阻值變化,經放大器放大,再通過A/D變換,轉換成電子數顯,即可測量出物體重量,這種電子秤的稱量范圍為1千克至數噸。半導體應變片可用來制作測量氣體或液體壓力差的傳感器。同時,力敏器件在醫(yī)學上也有廣泛的應用,它在醫(yī)療器材上常作為脈搏、血壓、心跳、肌肉收縮等測量。例如,醫(yī)生使用三只力敏器件模擬醫(yī)生的三只手指,將脈搏跳動轉換成電信號,通過放大可以方便地進行顯示或記錄。
力敏器件的應用范圍很廣,電阻絲應變片可以用作稱重元件。當重物在應變片彈性體上荷重后,會產生與荷重相應的應變,將此應變的電阻值變化,經放大器放大,再通過A/D變換,轉換成電子數顯,即可測量出物體重量,這種電子秤的稱量范圍為1千克至數噸。半導體應變片可用來制作測量氣體或液體壓力差的傳感器。同時,力敏器件在醫(yī)學上也有廣泛的應用,它在醫(yī)療器材上常作為脈搏、血壓、心跳、肌肉收縮等測量。例如,醫(yī)生使用三只力敏器件模擬醫(yī)生的三只手指,將脈搏跳動轉換成電信號,通過放大可以方便地進行顯示或記錄。
近年來,隨著科學技術的發(fā)展,已經采用微電子技術實現了力敏器件的微型化,使其可以應用于各種高精尖的科技領域中。此外,力敏器件還廣泛應用在工程測力、工業(yè)自動配料控制系統(tǒng)、電站燃料控制、棉花和紡織品的張力與強度的控制等方面。總之,力敏器件的應用前景是十分廣闊的。
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