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皮拉尼真空計的應用

來源:深圳市京都玉崎電子有限公司   2024年05月24日 11:01  

皮拉尼真空計用于需要真空達到控制的腔室、連接到石英管的流體回路以及需要表面清潔度的地方。具體來說,它常用于中真空區(qū)域的測量。

中真空區(qū)域是使用油回轉真空泵可以達到的真空狀態(tài),例如測量碳氟化合物氣體的吸入量時。皮拉尼真空計常用于高真空至超高真空抽氣系統(tǒng)的粗抽生產線以及高真空泵的背壓生產線。

然而,顯示值根據氣體的類型和成分而變化,因此需要提前進行充分的校準來測量絕對壓力。皮拉尼真空計還用于在物理和化學實驗、真空蒸發(fā)、冷凍干燥、醫(yī)療設備、分析儀、激光應用設備、真空排氣設備、半導體制造設備的等離子蝕刻空間以及電子顯微鏡的真空包中創(chuàng)造真空條件


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