UV-351

小型輕量、本體+感應(yīng)器一體式UV能量計

可適用于UV曝光機與傳送帶的計測器。

特點：

1、可以管理UV曝光裝置和UV傳送帶的光量和照度。

2、小型，輕量，輕薄。反射形。

3、結(jié)合機型和用途提供UV-351、UV-351-25、UV-351-42等多種選擇

4、擁有光量檢測、照度檢測、照度峰值等多種測定模式。

5、高耐熱，結(jié)構(gòu)堅固。

型號：UV-351

測定波長范圍：310~384nm

測定照度范圍：0.1~100.0mW/Cm2

測定光量范圍：1-19999mJ/cm2

合并精度：本社感應(yīng)器誤差在±1.5%以內(nèi)

重復(fù)操作精度：1.5%以內(nèi)

它是一種集受光部分和主體于一體的小型、輕便、手持式測量儀器。 該測量儀器與UV光刻設(shè)備和UV輸送機兼容。

可以管理光刻設(shè)備、UV輸送機等的照度和光強度。

它體積小、重量輕、薄且方便。

您可以根據(jù)應(yīng)用選擇 UV-351（相當于 UV-SD35）、UV-351-25（相當于 UV-SD25）和 UV-351-42（相當于 UV-SD42）型號。

可選擇多種測量模式，如光強測量、照度測量、峰值照度測量等。

它具有金屬機身，耐熱，并具有堅固的結(jié)構(gòu)。

SN模式已被長期使用我們的光刻設(shè)備和輻照設(shè)備的客戶廣泛采用，并保證了工藝管理的連續(xù)性。

SD型推薦給在半導(dǎo)體和液晶基板的制造過程中已經(jīng)使用其他公司生產(chǎn)的測光表的客戶，以及需要確保與這些測量儀器的數(shù)據(jù)兼容性的客戶（SD型也用于我們的光刻設(shè)備中的液晶基板的投影光刻設(shè)備和外圍光刻設(shè)備），以及使用全新測光表的客戶。

為了保證舊過程數(shù)據(jù)的兼容性，使用SN型為SD型提供指示值（在相同測量條件下測量用作校準輻射源的高壓UV燈的365nm發(fā)射線時顯示的照度值： mW/cm2）。

與可見光的照度計和照度計（以LUX單位測量家庭，辦公室，商店，博物館等亮度的照度計和照度計）不同，適用于所有照度計和紫外線照度計的標準尚未建立（似乎正在為少數(shù)有限的應(yīng)用進行JIS轉(zhuǎn)換工作）。

即使各公司的相對光譜靈敏度是以365nm發(fā)射線為主要組成的光源測量照度而制作的，也從測量的峰值波長（相對光譜靈敏度特性的波長用1表示），短波長側(cè)（約300nm~310nm）和長波長側(cè)（約380nm~400nm）的上升開始。 下降的波長和它前后的曲線略有不同。

此外，在設(shè)計方面已經(jīng)做出了努力，使感光器的感光角特性（據(jù)說是COSθ特性）更接近理想曲線，但現(xiàn)實情況是它們尚未實現(xiàn)。