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常壓大氣型等離子清洗機(jī)通常會(huì)選用帶有流量控制器的專(zhuān)用氣源來(lái)為設(shè)備提供穩(wěn)定的工藝氣體，而低壓真空型的等離子清洗機(jī)則會(huì)使用質(zhì)量流量控制器來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)通入工藝氣體的流量控制，其中低壓真空型等離子清洗機(jī)的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，不過(guò)隨著等離子清洗機(jī)的規(guī)格大小流量控制范圍也會(huì)有一定的區(qū)別，例如一些大型的低壓真空等離子清洗機(jī)也會(huì)使用到0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。那么我們?cè)撊绾尉唧w地根據(jù)等離子清洗機(jī)的實(shí)際情況，來(lái)選擇流量控制器呢？
選擇流量控制器的理由
因?yàn)樵诘入x子清洗機(jī)中通入的工藝氣體可能存在著不同，所以在選擇時(shí)也建議采用相應(yīng)的氣體專(zhuān)用質(zhì)量流量控制器，以保證輸入氣體能夠有著穩(wěn)定的計(jì)量。之所以要選擇專(zhuān)用的流量控制器，這是因?yàn)楦鶕?jù)所使用的工藝氣體不同也意味著氣體分子的大小不同，再加上其化學(xué)性質(zhì)的差異也很大，在這種情況下，如果使用相同規(guī)格的流量控制器就會(huì)產(chǎn)生一定的流量誤差以及安全隱患。
另外，如果使用的是常規(guī)工藝氣體，就可以選擇一種氣體作為標(biāo)準(zhǔn)，在這里只需要保障氣體流量的穩(wěn)定性。而需要注意的是，如果使用的如氫氣、四氟化碳這類(lèi)特殊氣體或其他易燃易爆、具有腐蝕性的工藝氣體，就一定要使用專(zhuān)用的質(zhì)量流量控制器設(shè)備。
選擇浮子流量計(jì)的原因
實(shí)驗(yàn)型低壓真空等離子清洗機(jī)，它是一種全手動(dòng)操作的設(shè)備，但同時(shí)對(duì)于流量控制要求不算嚴(yán)苛，一般會(huì)使用到手動(dòng)浮子流量計(jì)。
在低壓真空等離子清洗機(jī)中需要保證真空的反應(yīng)腔體壓力的穩(wěn)定，所以在選用好適合的氣體流量控制器后，還應(yīng)該注意到氣管接頭的選用。通常來(lái)說(shuō)我們會(huì)使用到快擰接頭或卡套接頭作為氣管接頭，以保證工藝氣體真空管路的密封性。
而當(dāng)處理的是一些特殊材料時(shí)，可能會(huì)把液態(tài)單體作為一種放電介質(zhì)，這時(shí)就一定要使用手動(dòng)浮子流量計(jì)作為流量控制器。對(duì)于帶腐蝕性的液態(tài)單體則需要使用防腐型的浮子流量計(jì)，而對(duì)真空環(huán)境要求較高的則建議使用高密封性的浮子流量計(jì)。
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