勻膠旋涂儀在使用過程中的使用注意事項

來源：華儀行（北京）科技有限公司 2022年02月11日 14:02

　　勻膠旋涂儀操作簡單，結(jié)構(gòu)小巧緊湊，占地空間小，為實驗室提供了理想的解決方案?？捎糜趯嶒炇翼椖拷ㄔO(shè).作為用于除半導(dǎo)體外,還有硅片、芯片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝，科研、教學(xué)之用。

　　勻膠旋涂儀的使用注意事項：

　　1.使用前主要檢查設(shè)備與真空泵和氮氣瓶的接口是否漏氣；

　　2.實驗時，依次打開設(shè)備電源開關(guān)，氮氣/干燥氣體瓶閥門，真空開關(guān)，結(jié)束時，先關(guān)真空，再關(guān)氮氣/干燥氣體瓶閥門；

　　3.氮氣/干燥氣體的壓力控制不宜過大建議氮氣瓶氣壓從0.35MPa起緩慢上調(diào)，直至設(shè)備控制面板上的CDA停止閃爍即停止調(diào)整；

　　4.嚴(yán)禁放置超出設(shè)備限定范圍的過大過重材料，否則將會損壞設(shè)備的旋控精度；

　　5.所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右,如果用大吸附盤甩小的樣片就會產(chǎn)生漏氣，同時造成膠被吸入抽氣室，導(dǎo)致氣路堵塞；

　　6.如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進行清洗，否則吸附盤、光電盤、電機軸會黏在一起，造成電機轉(zhuǎn)不動,拆卸亦很困難；

　　7.氣路堵塞或氣泵損壞時電機也可運轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動電機前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住；

　　8.實驗期間設(shè)備閑置時，為了保護好泵的工作性能，請關(guān)閉真空泵，建議泵的連續(xù)作業(yè)不超過1小時；

　　9.實驗結(jié)束后，請拭去設(shè)備內(nèi)腔殘留物，并清空廢液接收罐，使用原片遮住,將設(shè)各用塑料封套蓋好以避污染；

　　10.對于廢液廢氣的排放和處置，請遵守試劑使用的相關(guān)環(huán)保說明。

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