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分類簡介
光學(xué)測量顯微鏡
采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。主要運(yùn)用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。
主要優(yōu)點(diǎn)：工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移動外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，是一種理想的固定場所小型精密測量儀器。
數(shù)碼測量顯微鏡
一種將將顯微鏡看到的實(shí)物圖像通過數(shù)模轉(zhuǎn)換，使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計(jì)算機(jī)上的顯微鏡設(shè)備。特別適用于制造業(yè)、精密零件以及不方便
移動的物件的觀察測量。廣泛地適用于生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。
主要優(yōu)點(diǎn)：小巧便攜，只需一臺計(jì)算機(jī)就可以直觀的觀測微觀放大圖像，進(jìn)行精確數(shù)據(jù)測量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場所觀測。數(shù)碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用，已成為一種可靠實(shí)用的精密測量儀器。
Z軸非接觸式
以裂像聚焦指示器為測量原理,采用高精度光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測方式進(jìn)行非接觸高低差測量。不僅可以對準(zhǔn)目標(biāo)影像,還能觀察測量點(diǎn)的表面狀態(tài),對高度,深度,高低差等進(jìn)行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場，微分干涉，金相，偏光等多種觀察功能。所以對極細(xì)微的間隙高低差，夾雜物、微米以下的突起、細(xì)微劃痕、以及金相組織進(jìn)行觀察
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