新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對(duì)晶圓工業(yè)對(duì)于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。Pura Plus 是一款在線(xiàn)微量濕度異動(dòng)變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠(chǎng)內(nèi)通向生產(chǎn)線(xiàn)的氣體供應(yīng)zui末端，用來(lái)監(jiān)測(cè)超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠(chǎng)內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測(cè)點(diǎn)后，會(huì)由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、元件故障或過(guò)程出錯(cuò)等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級(jí)別下
1 ppb 的異動(dòng)的響應(yīng)時(shí)間小于1 分鐘。



亮點(diǎn)

· 對(duì) ppb 級(jí)別濕度異動(dòng)的快速響應(yīng)

· 低濕 ppb 級(jí)別的靈敏度 （<1 ppb）

· 多點(diǎn)測(cè)量安裝的全新概念

· 維護(hù)要求低

· 信號(hào)燈式的狀態(tài)指示

· 可設(shè)置警告和報(bào)警點(diǎn)

· Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容

· 遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件

· （UHP） 超純氣體的管線(xiàn)檢測(cè)

技術(shù)指標(biāo)