API XD LASER激光干涉儀

  XD Laser激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上，XD Laser激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學相位探測器識別后進行電子計數(shù)，記錄長度位置，束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得，第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。

  為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性，測量儀配有自動氣壓，環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響。測量儀還配有站們設(shè)計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到低。

API激光干涉儀主要特點：

1. API激光干涉儀同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角

2. API激光干涉儀設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器

3. API激光干涉儀可選的無線遙控傳感器*長的控制距離可到25米

4. API激光干涉儀可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性。