目錄:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>真空鍍膜機(jī)>>磁控濺射鍍膜>> VTC-600GD高真空磁控濺射儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
·最多可選配四個靶槍，配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換）。
·可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。
·體積小，操作簡便。
·整機(jī)模塊化設(shè)計，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計，可根據(jù)用戶實際需要調(diào)整。
·可根據(jù)用戶實際需要選擇電源，可以一個電源控制多個靶槍，也可多個電源單一控制靶槍。
| 產(chǎn)品名稱 | VTC-600GD高真空磁控濺射儀 | |
| 產(chǎn)品型號 | VTC-600GD | |
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | |
| 主要參數(shù) | 1、電源電壓：220V 50Hz | |
| 15、產(chǎn)品規(guī)格： |
| |
| 序號 | 名稱 | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
| 1 | 直流電源控制系統(tǒng) | （可選）套 | - |
| 2 | 射頻電源控制系統(tǒng) | 1套 | - |
| 3 | 膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng) | 1套 | - |
| 4 | 分子泵（德國進(jìn)口或者國產(chǎn)更大抽速） | 1臺 | - |
| 5 | 冷水機(jī) | 1臺 | - |
| 6 | 聚酯PU管（Ø6mm） | 4m | - |
| 序號 | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
| 1 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | （可選） | - |
| 2 | 可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。 | （可選） | - |
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