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測厚儀的校正工具有很多，不同的工具配合不同的校正方法。可以先利用自身各種按鈕，進行校正。

1、測量調(diào)零板，需要做到三次以上的測量，并且是連續(xù)地去做?？纯礈y量的數(shù)量是否在一個穩(wěn)定的范圍內(nèi)，盡量不要相差甚遠(yuǎn)。

2、如果發(fā)現(xiàn)它穩(wěn)定以后，我們就可以按住膜厚測量儀并且與調(diào)零按鈕接觸，一直按著不松開。

3、接著別利用另一只手，輕輕地按住按鈕，再松開。如果聽到了響聲，意味著有數(shù)據(jù)，再把儀器拿開，我們會發(fā)現(xiàn)，可能會出現(xiàn)第二次的響聲，這時候，會顯示為零。

4、這樣的調(diào)試就是成功了。

如果，在這個校正過程當(dāng)中，卻發(fā)現(xiàn)屏幕所顯示的并不是零，那就意味著我們需要利用其它的工具來對它進行一個校正：利用標(biāo)準(zhǔn)檢驗片來對膜厚測量儀進行校正。

1、先是把帶有一個標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值的標(biāo)準(zhǔn)片放在零板上，測量標(biāo)準(zhǔn)片。按照平常操作儀器的方法正常使用測厚儀，觀看儀器屏幕上的數(shù)值。

2、一般來說，發(fā)現(xiàn)數(shù)值是與標(biāo)準(zhǔn)片上所標(biāo)數(shù)值一致，或者是誤差是在正負(fù)1微米的，儀器都是可以正常使用的。

3、否則，就是不正常。對于不正常的儀器，則需要利用儀器的調(diào)零按鈕來進行調(diào)整。直到屏幕數(shù)據(jù)與標(biāo)準(zhǔn)片所標(biāo)數(shù)據(jù)一致。

4、在校正的過程當(dāng)中，有一些小細(xì)節(jié)是需要注意。比如，在調(diào)零校正的時候，發(fā)現(xiàn)屏幕顯示為零，再多按一次，卻變成中外一個數(shù)據(jù)，那是正常情況。

5、而在利用標(biāo)準(zhǔn)片校正膜厚測量儀時，需要多作幾次的數(shù)據(jù)記錄，確保避免出現(xiàn)偏差，而是認(rèn)為儀器的不正常。