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HEIDENHAIN海德漢敞開式直線光柵尺設計用于對測量精度要求*的機床和系統(tǒng)
海德漢 – 高精位置測量和控制技術
約翰內斯•海德漢博士公司研發(fā)和生產高質量直線光柵尺和角度編碼器、旋轉編碼器、數(shù)顯裝置和數(shù)控系統(tǒng)。 海德漢公司產品主要用于精密機床和電子元件的生產和加工設備。
我們擁有研發(fā)和生產測量設備和數(shù)控系統(tǒng)的豐富經驗和專業(yè)知識，我們?yōu)槲磥泶笮驮O備和生產型機床的自動化打造發(fā)展基礎。
典型應用包括：
半導體業(yè)的測量和生產設備
PCB電路板組裝機
超高精度機床
高精度機床
測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設備
直驅電機
HEIDENHAIN海德漢敞開式直線光柵尺技術參數(shù)：
| 技術指標 | LIP 382 |
| 測量標準 | Zerodur玻璃陶瓷上的DIADUR相位光柵；光柵周期0.512微米 |
| 線性膨脹系數(shù) | α THERM =（0±0.1）×10 -6 ? -1 |
| 精度等級 | ±0.5 µm（可根據(jù)要求提供更高的精度等級） |
| 基線錯誤 | ≤ ±0.075 µm / 5毫米 |
| 測量長度ML * ，單位mm | 70 120 150 170 220 270 |
| 參考標記 | 沒有 |
| 接口 | 1 V PP |
| 綜合插補 | – |
| 信號周期 | 0.128微米 |
| 截止頻率–3 dB | ≥1兆赫 |
| 掃描頻率* | – |
| 邊緣分離a | |
| 移動速度 | ≤ 7.6米/分鐘 |
| 插補誤差 | ±0.01納米 |
| 位置噪聲RMS | 0.06 nm（1 MHz 1）） |
| 激光 | 掃描頭和天平安裝： 1級 |
| 未安裝掃描頭： 3B級 | |
| 使用的激光二極管： 3B級 | |
| 電氣連接 | 0.5 m電纜至接口電子設備（APE）， |
| 可連接至APE的單獨適配器電纜（1 m / 3 m / 6 m / 9 m） | |
| 電纜長度 | 參見接口說明，但≤30 m（使用海德漢電纜） |
| 電源 | 直流5 V±0.25 V |
| 目前的消費 | <190毫安 |
| 振動55 Hz至2000 Hz | ≤4 m / s 2（EN 60068-2-6） |
| 震動11毫秒 | ≤50 m / s 2（EN 60068-2-27） |
| 工作溫度 | 0°C至40°C |
| 質譜 掃描頭 | 150克 |
| 接口電子 | 100克 |
| 線性刻度 | ML70毫米： 260克，ML ≥ 150毫米： 700克 |
| 連接線 | 38克/平方米 |
| * 訂購時請選擇 | |
| 1） 后續(xù)電子設備的–3 dB截止頻率 | |
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