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日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)IAGD5科鎂供應(yīng)
省空間且提高了維護性的工藝氣體供給系統(tǒng)。
從設(shè)計到制作均可根據(jù)客戶需要的流程進行。
1.125inch、采用W密封。
行業(yè):半導(dǎo)體制造工序(前工序) 化學(xué)氣體供給設(shè)備用元件
科鎂自動化設(shè)備(上海)有限公司是一家專業(yè)銷售進口工控液壓,氣動,儀器儀表,主要品牌有:德國力士樂REXROTH、西門子SIEMENS、克拉克KRACHT、美國派克PARKER、阿斯卡ASCO、威格士VICKERS、意大利阿托斯ATOS、康茂盛CAMOZZI、杰夫倫GEFRAN、日本SMC、CKD、瑞士科瑞CONTRINEX等
日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)IAGD5科鎂供應(yīng)
產(chǎn)品特點:
【集成單元】
通過緊湊集成標準化部件,構(gòu)建工藝氣體供氣線。
實現(xiàn)了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設(shè)計到裝配、檢查完成后交付,可減少客戶的工時。
日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)IAGD5科鎂供應(yīng)
衍生系列:
IAGD5集成化供氣系統(tǒng)元件規(guī)格:
項 目: MMGD5-R MMGD5-1
使用流體: 惰性氣體·工藝氣體
使用壓力 Pa(abs)-MPa(G): 1.3×10-6~0.99
流體溫度 ℃: 5~80
環(huán)境溫度 ℃ : 5~80
閥座泄漏 Pa m3/s(He): 1.0×10-10
外部泄漏 Pa m3/s(He): 2.8×10-12
Cv值: 0.26
配管方式 : 1.125英寸、W密封(公稱6.35)
閥體材質(zhì): SUS316L
膜片材質(zhì): Ni-Co合金
閥座材質(zhì): PCTFE
項 目: MFGD5-11D-W-1 MFGD5-11D-W-4
使用流體:惰性氣體·工藝氣體
使用壓力 Pa(abs)-MPa(G):1.3×10-6~0.7
流體溫度 ℃:-10~80
環(huán)境溫度 ℃:-10~80
閥座泄漏:大Cv值的1/100以下
外部泄漏 Pa?m3/s(He):2.8×10-12
Cv值(調(diào)整范圍):0.003-0.03 0.02-0.2
配管方式:1.125英寸、W密封(公稱6.35)
閥體材質(zhì):SUS316L
膜片材質(zhì):Ni-Co合金
科鎂自動化設(shè)備(上海)有限公司供應(yīng):喜開理CKD電控換向閥、喜開理CKD傳感器、喜開理CKD電機等產(chǎn)品,價格實惠,部分常規(guī)型號有現(xiàn)貨。如需采購可咨詢。我將竭誠為您服務(wù)。請您詢價采購時請備注貴公司營業(yè)執(zhí)照抬頭、連系方式;您需要的品牌型號數(shù)量發(fā)給我們。我們將按順序第yi時間給您回復(fù)報價。
產(chǎn)品具體詳見:IAGD5集成化供氣系統(tǒng)元件