以前我們要根據(jù)不同的觀察信號來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離（工作距離／以下簡稱WD），以獲得最佳的觀察與分析條件，而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng)，可在同樣的WD的條件下更高效地接收各種信號，縮短了樣品觀察和分析的時(shí)間，提高了測試效率?！?/span>

而且，日立SU7000熱場發(fā)射掃描電鏡還配置了可同時(shí)6通道顯示界面（前代機(jī)型只能同時(shí)顯示4通道），進(jìn)一步升級電鏡控制系統(tǒng)，大幅提高了信號獲取速度，由此實(shí)現(xiàn)了樣品的高效率觀察。它還標(biāo)配超大樣品倉，增設(shè)了附件接口，可適用于各種樣品的觀察與分析。

日立SU7000熱場發(fā)射掃描電鏡主要特點(diǎn)：

在相同的WD條件下，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)二次電子，背散射電子觀察與X射線能譜分析。

可同時(shí)實(shí)現(xiàn)6通道檢測與顯示；

成像分辨率最大可達(dá)10240x7680像素；

配置18個(gè)附件接口，支持低至300Pa的低真空模式觀察；（選配）