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當(dāng)前位置：上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司>>氣體分析>>電子氣>> GC-9560-PDD含氟電子氣分析用氦離子色譜儀
含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用華愛(ài)公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項(xiàng)目。
氟的技術(shù)指標(biāo)：
| 項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |
| 氟（F2）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≥ | 99 |
| 氧（O2）+氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-2 | ≤ | 0.45 |
| 四氟化碳（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≤ | 0.05 |
| 氟化氫（HF）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≤ | 0.5 |
氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo)：
| 項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |
| 氟（F2）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | 20 | |
| 氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-2 | 80 | |
| 氧（O2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-2 | ≤ | 0.08 |
| 四氟化碳（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≤ | 0.03 |
