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更新時(shí)間:2021-06-02 09:46:18瀏覽次數(shù):2808評(píng)價(jià)
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高分辨率波前分析儀/波前傳感器/波前相差儀
400X300高分辨率、500um高動(dòng)態(tài)范圍、高性價(jià)比、同時(shí)檢測(cè)波前與M^2波前傳感器!
關(guān)鍵詞:波前傳感器、波前分析儀、波前像差儀、傳感器、波前測(cè)試儀、波前探測(cè)器、激光波前分析儀、哈特曼波前分析儀、虹膜定位、哈特曼波前傳感器、波前象差、高分辨率波前分析儀、波前測(cè)量?jī)x、激光光束及波前分析儀、夏克 哈特曼、鏡頭MTF
公司自主研發(fā)的波前傳感器是基于四波橫向剪切干涉技術(shù)。SID4系列波前分析儀相較傳統(tǒng)的夏克-哈特曼波前探測(cè)器具有高分辨率、消色差、高靈敏度、高動(dòng)態(tài)檢測(cè)范圍、操作簡(jiǎn)便等*的優(yōu)勢(shì)。為波前像差、波前畸變的檢測(cè)以及激光光束及波前的測(cè)量、分析,眼科虹膜定位波前像差引導(dǎo)等提供了全新的解決方案!波前探測(cè)器配套的軟件界面友好,可直觀的輸出高分辨率相位圖和光束強(qiáng)度分布圖。
高分辨率波前分析儀/波前傳感器/波前相差儀
波前傳感器生產(chǎn)廠家具有雄厚的技術(shù)研發(fā)實(shí)力,能為客戶提供的各種自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)OA-SYS(Adaptive Optics Loops),制定個(gè)性化解決方案??筛鶕?jù)客戶的應(yīng)用需求,為客戶推薦zui合適的SID4波前傳感器、可變形鏡或空間光調(diào)制器、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)操作軟件等。
圖1 波前校正前與校正后對(duì)比
波前探測(cè)器依據(jù)其四波橫向剪切干涉技術(shù),對(duì)哈特曼掩模技術(shù)進(jìn)行了大的升級(jí)、改進(jìn)。波前傳感器將400X300的超高分辨率和500um的超大動(dòng)態(tài)范圍*結(jié)合在了一起??梢詽M足不同的客戶的應(yīng)用需求,可對(duì)激光光束進(jìn)行光強(qiáng)、位相、PSF(點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù))、MTF(調(diào)制傳遞函數(shù))、OTF(光學(xué)傳遞函數(shù))、波前像差、M^2等進(jìn)行實(shí)時(shí)、簡(jiǎn)便、快速的測(cè)量。
*部 產(chǎn)品介紹
SID4 UV-HR高分辨紫外波前傳感器
公司將 SID4的波前測(cè)量波長(zhǎng)范圍擴(kuò)展到190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款適用于紫外波段的高分辨率波前傳感器,非常適用于光學(xué)元件測(cè)量(例如印刷、半導(dǎo)體等等)和表面檢測(cè)(半導(dǎo)體晶片檢測(cè)等)。
特點(diǎn):
u 高分辨率(250x250)
u 通光孔徑大(8.0mmx8.0mm)
u 覆蓋紫外光譜
u 靈敏度高(0.5um)
u 優(yōu)化信噪比
圖2 SID4-UV波前分析儀
SID4 波前傳感器
可用于400nm-1000nm 的激光的波前位相、強(qiáng)度分布,波前像差,激光的M2,澤尼克參數(shù)等進(jìn)行實(shí)時(shí)的測(cè)量及參數(shù)輸出。
特點(diǎn):
Ø 波長(zhǎng)范圍:400-1100nm
Ø 分辨率高(160x120)
Ø 消色差
Ø 測(cè)量穩(wěn)定性高
Ø 對(duì)震動(dòng)不敏感
Ø 操作簡(jiǎn)單
Ø 結(jié)構(gòu)緊湊,體積小
Ø 可用筆記本電腦控制
圖3 SID4位相檢測(cè)
可用于檢測(cè)各種透鏡,光學(xué)系統(tǒng)的檢測(cè),可以對(duì)透鏡、光學(xué)系統(tǒng)的進(jìn)行實(shí)時(shí)的PSF(點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù))、MTF(調(diào)制傳遞函數(shù))、OTF(光學(xué)傳遞函數(shù))、波前像差測(cè)量及參數(shù)輸出。相對(duì)于傳統(tǒng)的透鏡檢測(cè)設(shè)備像:傳函儀、干涉儀,具有操作簡(jiǎn)便,測(cè)量精度高,參數(shù)輸出方便等優(yōu)點(diǎn),正在被越來(lái)越多的客戶推崇。
特點(diǎn):
u 波長(zhǎng)范圍:400-1100nm
u 高性能的相機(jī),信噪比高
u 實(shí)時(shí)測(cè)量,立即給出整個(gè)物體表面的信息(120000個(gè)測(cè)量點(diǎn))
u 曝光時(shí)間極短,保證動(dòng)態(tài)物體測(cè)量
u 操作簡(jiǎn)單
圖4 SID4-HR
圖5 SID4-HR傳遞函數(shù)檢測(cè)
SID4 NIR 波前分析儀
主要針對(duì)1550 nm(1.5um-1.6um)激光的檢測(cè),具有分辨率高高靈敏度、高動(dòng)態(tài)范圍、操作簡(jiǎn)便等*的優(yōu)勢(shì)??捎糜诠鈱W(xué)測(cè)量,SID4 NIR是測(cè)量紅外物體和紅外透鏡像差、PSF、MTF和焦距及表面質(zhì)量的理想工具。
特點(diǎn):
² 高分辨率(160x120)
² 快速測(cè)量
² 性價(jià)比高
² 測(cè)量
² 對(duì)振動(dòng)不敏感
圖6 SID4 NIR激光波前檢測(cè)
SID4 DWIR 波前儀
具有寬波段測(cè)量的特點(diǎn)??梢詫?shí)時(shí)的檢測(cè)3-5um和8-14um的波前位相,強(qiáng)度分布等響應(yīng)的波前信息??梢院芎玫臐M足紅外波段客戶的波前檢測(cè)需求。
特點(diǎn):
u 光學(xué)測(cè)量:SID4 DWIR是測(cè)量紅外物體特性(熱成像和安全視覺(jué))或紅外透鏡(CO2激光器)的理想工具,輸出結(jié)果包括MTF,PSF,像差,表面質(zhì)量和透鏡焦距。
u 光束測(cè)量:(CO2激光器,紅外OPO激光光源等等)SID4 DWIR提供詳盡的光束特性參數(shù):像差,M2,光強(qiáng)分布,光束特性等
u 高分辨率(96x72)
u 可實(shí)現(xiàn)測(cè)量
u 可覆蓋中紅外和遠(yuǎn)紅外波段 大數(shù)值孔徑測(cè)量,無(wú)需額外中轉(zhuǎn)透鏡
u 快速測(cè)量 對(duì)振動(dòng)不敏感
u 可實(shí)現(xiàn)離軸測(cè)量
u 性價(jià)比高
圖7SID4 DWIR
SID4產(chǎn)品型號(hào)參數(shù)匯總
型號(hào) | SID4 | SID4-HR | SID4 UV-HR | SID4 NIR | SID4 DWIR | SID4-SWIR |
孔徑尺寸(mm2) | 3.6 x4.8 | 8.9 x11.8 | 8.0 x8.0 | 3.6x4.8 | 13.44x10.08 | 9.6x7.68 |
空間分辨率(um) | 29.6 | 29.6 | 32 | 29.6 | 140 | 120 |
測(cè)量點(diǎn)數(shù) | 160x120 | 300x400 | 250x250 | 160x120 | 96x72 | 80X64 |
波長(zhǎng)范圍 | 350-1100 nm | 350-1100 nm | 190-400 nm | 1.5-1.6µm | 3-5µm 8-14µm | 0.9- 1.7µm |
精準(zhǔn)度 | 10nm RMS | 10nm RMS | 10nm RMS | >15nm RMS | 75nm RMS | 10nm RMS |
動(dòng)態(tài)范圍 | >100µm | >500µm | >200um | >100µm | / | ~100µm |
采樣速度 | 60 fps | 10 fps | 30 fps | 60 fps | 50 fps | 60fps |
處理速度 | >10fps | >3 fps | 1fps | <10fps | 20 Hz | >10Hz |
第二部 控制軟件
SID4波前分析儀控制軟件
SID4波前分析儀控制軟件與SID4 波前傳感器配套提供的是一款完整的分析軟件,其集成了高分辨率的相位圖與強(qiáng)度分布圖,測(cè)量光強(qiáng)分布和波前信息。
借助Labview和C++ 可編程模塊數(shù)據(jù)庫(kù)(軟件二次開(kāi)發(fā)工具包),客戶能夠根據(jù)自身的需要編寫(xiě)各種相位測(cè)量與編譯模塊。
Adaptive Optics Loops將SID4 Wavefront Sensor結(jié)合您的應(yīng)用,選配合適的可變形鏡或相位調(diào)制器,提供整套的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)。減小任何一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的相差從來(lái)都不是簡(jiǎn)單的,我們的產(chǎn)品能為激光光束和成像系統(tǒng)帶來(lái)更可靠,高精度的解決方案。
圖8 SID4控制界面
SID4光學(xué)測(cè)量軟件Kaleo
基于剪切干涉的波前傳感器與專門(mén)設(shè)計(jì)的光學(xué)測(cè)量軟件Kaleo結(jié)合,可以測(cè)量球面鏡和非球面鏡的像差及MTF等信息。只需要幾秒鐘,我們的儀器為您呈現(xiàn)絕大部分的光學(xué)參數(shù),如焦距,光腰,MTF,像差,Zernike系數(shù),曲率半徑,PSF等。
第三部 與傳統(tǒng)哈特曼波前分析儀比較
與傳統(tǒng)哈特曼波前傳感器測(cè)量結(jié)果對(duì)比:
技術(shù)參數(shù)對(duì)比:
| PHASICS | Shack-Hartmann | 區(qū)別 |
技術(shù) | 剪切干涉 | 微透鏡陣列 | PHASICS投放市場(chǎng)時(shí),已經(jīng)申請(qǐng)技術(shù),是對(duì)夏克-哈特曼技術(shù)的升級(jí) |
重建方式 | 傅里葉變換 | 分區(qū)或模式法 | 夏克-哈特曼波前探測(cè)器,局域?qū)?shù)以微透鏡單元區(qū)域的平均值來(lái)近似,誤差大 |
強(qiáng)度 | 對(duì)強(qiáng)度變化不敏感 | 對(duì)強(qiáng)度變化靈敏 | PHASICS測(cè)量精度高,波前測(cè)量不依賴于強(qiáng)度水平 |
校準(zhǔn) | 用針孔校準(zhǔn)、方便快捷 | 安裝困難,需要精密的調(diào)節(jié)臺(tái) | PHASICS使用方便 |
取樣點(diǎn) | SID4-HR達(dá)300X400測(cè)量點(diǎn) | 128X128測(cè)量點(diǎn)(多個(gè)微透鏡) | PHASICS具有更高的分辨率 |
數(shù)值孔徑 | NA:0.5 | NA:0.1 | PHASICS動(dòng)態(tài)范圍更高 |
分辨率 | 29.6μm | 115μm | PHASICS具有更高的空間分辨率 |
測(cè)量精度 | 2nm RMS | 5nm RMS | PHASICS更好的測(cè)量精度 |
獲取頻率 | 60fps | 30fps | PHASICS獲取速度快 |
處理頻率 | >10Hz | 30Hz | PHASICS可滿足大部分處理要求 |
消色差 | 無(wú)需對(duì)每個(gè)波長(zhǎng)進(jìn)行校準(zhǔn) | 需要在每個(gè)波長(zhǎng)處校正 | PHASICS更靈活,可以測(cè)試寬波段,而不需要校準(zhǔn) |
第四部 應(yīng)用領(lǐng)域
Ø 激光、天文、顯微、眼科等復(fù)雜自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)波前像差檢測(cè)
Ø 激光光束性能、波前像差、M^2、強(qiáng)度等的檢測(cè)
Ø 紅外、近紅外探測(cè)
Ø 平行光管/望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)的檢測(cè)與裝調(diào)
Ø 衛(wèi)星遙感成像、生物成像、熱成像領(lǐng)域
Ø 球面、非球面光學(xué)元器件檢測(cè) (平面, 球面, 透鏡)
Ø 虹膜定位像差引導(dǎo)
Ø 大口徑高精度光學(xué)元器件檢測(cè)
Ø 激光通信領(lǐng)域
Ø 航空航天領(lǐng)域
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