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3C閥門類別	工業(yè)	流動(dòng)方向	其他

進(jìn)口產(chǎn)品CKD真空閥，喜開理真空電磁閥

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基本簡(jiǎn)介
真空電磁閥是安裝在機(jī)械式真空泵上的閥門。閥門與泵接在同電源上，
泵的開啟與停止直接控制了閥的開啟與關(guān)閉。當(dāng)泵停止工作或電源突然中斷時(shí)，
閥能自動(dòng)將真空系統(tǒng)封閉，并將大氣通過泵的進(jìn)氣口充入泵腔，
避免泵油返流污染真空系統(tǒng)。真空電磁閥適用的工作介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣
體。只需1臺(tái)即可實(shí)現(xiàn)從低真空
高真空的寬域控制
壓力控制真空壓力比例控制系統(tǒng) VEC series
6
概要
應(yīng)用實(shí)例
寬域快速切斷、排氣控制自如
本品是在半導(dǎo)體線中，為控制真空室內(nèi)的真空壓力
而設(shè)計(jì)的系統(tǒng)。
●各種CVD裝置 ●實(shí)驗(yàn)·研究用途（真空壓力控制）
Close時(shí) Open時(shí)
控制時(shí)
（低真空）
控制時(shí)
（高真空）
※詳情請(qǐng)敝司銷售人員。
進(jìn)口產(chǎn)品CKD真空閥，喜開理真空電磁閥
·可慢速排氣：避免揚(yáng)起閥室內(nèi)的顆粒
·不需另配切斷用真空閥，實(shí)現(xiàn)裝置的小型化
滿足用戶不同需求。
⑤ 帶加熱器 ⑥ 變更O型圈
② 大口徑
④ 帶電磁閥
可根據(jù)要求，替換各種O型圈
※如需了解可換材料，請(qǐng)敝司銷售人員
為防止附著生成物，還可另配加熱器
※適用口徑：NW25～63
除普通規(guī)格外，還提供
NW80～160的大口徑產(chǎn)品
還具有兩段式排氣、耐高溫
等特性
※NW80·100…產(chǎn)品目錄
“干式精密綜合”
NW160…按訂單產(chǎn)品
③ 電動(dòng)·多控制
EVB系列
通過電動(dòng)控制，
可在30度范圍內(nèi)調(diào)節(jié)開度
實(shí)現(xiàn)多控制！
口徑范圍：
NW25·40·50
對(duì)操作用電磁閥采取直接連接、
省空間、滿足各種配管要求
① 手動(dòng)閥
MVB系列
具備AVB系列的全部，
密封結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的手動(dòng)閥
口徑范圍：
NW16～50
※按訂單 ※按訂單 ※按訂單