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日本SMC棒型 靜電消除器 IZT40/41/42

控制器分離型 靜電消除器/棒型 IZT40/41/42

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下載CAD 說(shuō)明書 DoC PDF

■節(jié)省空間：高37mm× 寬30mm

高：57mm 縮短(60%)

可在狹小空間內(nèi)設(shè)置

■雙 AC 方式 IZT42 系列（ 降低電位振幅規(guī)格）

采用SMC *的雙AC 方式可降低電位振幅。

即使是対靜電敏感的設(shè)各，也可防止靜電放電(ESD) 的破壞，除去靜電。即使近 
距離設(shè)置也可降低目標(biāo)工件的電位振幅。

雙AC 方式 IZT42

同時(shí)粋放＋離子和－離子. ＋／－離子均等到達(dá)工件. 因此電位振幅較小。

AC 方式 IZT40/IZT41

＋禽子和一禽子以帯狀. 交替式到込工件. 因此除電放率提高。
 

玻璃基板的除靜電

從平臺(tái)上拾取時(shí). 防止由剝離帯電導(dǎo)致的靜電破壞

電氣基板的除靜電

?防止放電導(dǎo)致的元件破損 
?防止灰塵附著

■AC 方式 IZT41 系列

帶有自動(dòng)平衡功能

■標(biāo)準(zhǔn)型 IZT40 系列

操作簡(jiǎn)單，接通電源即可使用

可選AC 適配器

( 僅可以在一根棒體時(shí)使用AC 適配器)

■自由的布局

控制器和高壓電源組件可分離安裝

1 臺(tái)控制器多可連接4 根棒體

可選擇供氣口 ：右側(cè)/ 左側(cè)/ 兩側(cè)

可選擇棒體/ 電纜長(zhǎng)度

■維護(hù)性提高

采用低維護(hù)構(gòu)造的電極針卡盤

從電極針周圍排出壓縮空氣， 可降低電極針的臟污程度
 

2 種電極針材質(zhì)
鎢/ 單晶硅( 硅晶片用)

可選高速除靜電卡盤、節(jié)能除靜電卡盤

插頭連接方式，插拔簡(jiǎn)單

可只更換棒體

■安全功能

防止電極針卡盤落下功能

兩歩動(dòng)作鎖定

防掉蓋

可以更有效防止電極針卡盤的落下

■型號(hào)區(qū)分 功能一覽

■附件(單獨(dú)訂購(gòu)用)

■用途例