上海維特銳實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司
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:陳
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海德漢公司的敞開(kāi)式直線光柵尺特別適用于高速和精密機(jī)床。盡管機(jī)械結(jié)構(gòu)是敞開(kāi)式的,但它抗污染能力強(qiáng),長(zhǎng)期穩(wěn)定性好和安裝速度快和安裝方便。高質(zhì)量的光柵和掃描方式是直線光柵尺高精度和可靠工作的保證。海德漢公司的敞開(kāi)式直線光柵尺用單場(chǎng)掃描原理。只需一個(gè)掃描場(chǎng)生成掃描信號(hào)。與四場(chǎng)掃描不同,單場(chǎng)掃描光柵尺上的局部污染(例如安裝時(shí)的手指印或?qū)к売偷挠偷挝廴荆┯绊懶盘?hào)分量光強(qiáng),因此等量影響掃描信號(hào)。輸出信號(hào)幅值雖有變化,但無(wú)偏移和無(wú)相位變化。這些信號(hào)仍可進(jìn)行高倍頻細(xì)分使單信號(hào)周期內(nèi)的位置誤差保持很小。此外,大面積掃描場(chǎng)還能降低對(duì)污染的敏感性。這常??梢员苊夤鈻懦呤А_@一點(diǎn)對(duì)于LIDA 400和LIF 400尤其突出,相對(duì)其柵距,其掃描面積達(dá)14.5 mm2,以及LIC 4100達(dá)15.5 mm2。即使有3 mm以?xún)?nèi)的打印機(jī)墨滴,印刷電路板粉塵,水滴或油滴,這些編碼器仍然可以輸出高質(zhì)量信號(hào)。位置誤差遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于光柵尺精度等級(jí)對(duì)應(yīng)的誤差值。敞開(kāi)式直線光柵尺的自身特點(diǎn)是其測(cè)量基準(zhǔn)的抗污染能力較低。為此,海德漢公司采用*工藝生產(chǎn)非常堅(jiān)固耐磨的光柵。DIADUR工藝是將硬鉻線刻在玻璃或鋼基體上。OPTODUR和SUPRADUR工藝是在主反射層上加一層透光層。超細(xì)、堅(jiān)硬的鍍鉻層形成三維光學(xué)相位光柵。采用成像掃描原理的METALLUR光柵的結(jié)構(gòu)也非常類(lèi)似。
實(shí)踐證明OPTODUR、SUPRADUR或METALLUR光柵測(cè)量基準(zhǔn)的抗污能力非常強(qiáng),由于其刻線高度小,灰塵、污物或水滴難以留在其表面上,使這種測(cè)量基準(zhǔn)的抗污染能力非常出眾。信號(hào)周期越小一般也要求讀數(shù)頭與鋼帶光柵尺間的安裝公差越小。這是光柵的衍射作用造成的。只要間隙變化±0.1 mm,信號(hào)將衰減50%。但由于在光柵尺中采用了干涉掃描原理和創(chuàng)新的掃描掩膜技術(shù)以及成像掃描原理,即使很小的信號(hào)周期也能允許較大安裝公差。海德漢公司的敞開(kāi)式直線光柵尺的安裝誤差只對(duì)輸出信號(hào)有輕微影響。特別是光柵尺帶與讀數(shù)頭間要求的間隙誤差(掃描間隙)對(duì)信號(hào)幅值影響極小。這是為什么海德漢公司的敞開(kāi)式直線光柵尺具有高可靠性的原因。通過(guò)這兩幅圖可看出LIDA 400和LIF 400系列光柵尺掃描間隙與信號(hào)幅值間關(guān)系。光電池將這些交變的光強(qiáng)信號(hào)轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。掃描掩膜帶的相對(duì)運(yùn)動(dòng)使*級(jí)的衍射光產(chǎn)生相位移:當(dāng)光柵移過(guò)一個(gè)柵距時(shí),前一級(jí)的+1衍射光在正方向上移過(guò)一個(gè)光波波長(zhǎng),-1衍射光在負(fù)方向上移過(guò)一個(gè)光波波長(zhǎng)。由于這兩個(gè)光波在離開(kāi)掃描光柵時(shí)將發(fā)生干涉,光波將彼此相對(duì)移動(dòng)兩個(gè)光波波長(zhǎng)。也就是說(shuō),相對(duì)移動(dòng)一個(gè)柵距可以得到兩個(gè)信號(hào)周期。在反光的金層上覆蓋薄薄一層玻璃。在該層的鉻線只有數(shù)納米厚,半透明和起減振作用。代理海德漢HEIDENHAIN光柵尺
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