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當(dāng)前位置:上海明策電子科技有限公司> 供求商機(jī)> IGAR 6-TV Smart-半導(dǎo)體晶體生長測(cè)溫儀
IGAR 6 Smart紅外高溫計(jì)是一種數(shù)字,緊湊和快速的高溫計(jì),根據(jù)不同的要求,可以在不同的模式下工作。 除了單色模式(100 ... 2550°C),還可以選擇雙色模式(250 ... 2550°C)或特殊的智能模式。在智能模式下,在100 ... 2550°C范圍內(nèi)的測(cè)量將采用單色模式,而在250 ...2000°C的范圍內(nèi),測(cè)量將采用雙色方法(比例法)。 在此模式下,用戶可以設(shè)置溫度。此時(shí)儀器從 單色模式轉(zhuǎn)換到 雙色模式(低轉(zhuǎn)變溫度:250°C,最小轉(zhuǎn)變范圍:30°C)。在雙色模式(比例法)中,兩個(gè)相鄰的波長用于溫度確定。 與標(biāo)準(zhǔn)單色高溫計(jì)相比,該技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):溫度測(cè)量在很大程度上獨(dú)立于對(duì)象的發(fā)射率并且在大范圍內(nèi)不受視場中的灰塵和其它污染物的影響。 測(cè)量對(duì)象可以小于光斑尺寸。
可解決的問題
被測(cè)物可能被離子云包裹
多次加熱工況中,對(duì)測(cè)溫儀重復(fù)性與穩(wěn)定性要求高
襯底材料會(huì)發(fā)生變化,要求測(cè)溫儀有不同的應(yīng)對(duì)方案
須透過視窗測(cè)量,最好推薦使用紅外視窗材料
場景特點(diǎn)
需維持在高溫狀態(tài)(LPCVD 500~800℃,MOCVD 500~1200℃)
生產(chǎn)過程中隨著反應(yīng)狀態(tài)的變化,溫度也需進(jìn)行調(diào)整,故而對(duì)測(cè)溫儀的響應(yīng)速度要求較高
技術(shù)參數(shù)
測(cè)溫范圍:
單色: 100 to 2550 °C
雙色: 250 to 2550 °C
子范圍:任何溫度范圍內(nèi)可調(diào)范圍,最小量程50°C
波段:Channel 1: 1.5 ... 1.6 μm;Channel 2: 2.0 ... 2.5 μm
發(fā)射率:0.050 到 1.000 ,0.001調(diào)節(jié)(單色模式)
分辨率:
在串口處:0.1°C;模擬輸出:<所選子范圍的0.0015%,最小。 0.1℃,16位; 1°C或1°F
鏡頭:可從后蓋手動(dòng)對(duì)焦測(cè)量距離a = 210 至5000 mm
環(huán)境溫度:0 to 65°C 外殼
存儲(chǔ)溫度: -20 to +80°C
連接:12針連接器
防護(hù)等級(jí):IP65 (IEC 60529)
環(huán)境溫度: 0 to 65°C 外殼
存放溫度:-20 to 80°C
模擬輸出:可調(diào)0至20 mA或4至20 mA,線性(通過數(shù)字接口)
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