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貨物所在地：上海上海市
更新時(shí)間：2024-08-19 09:18:17
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在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品( 聯(lián)系我們，請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝?。?/p>
特點(diǎn)：
·適用6寸以下樣品的處理
·用于塑膠材料表面的處理
·配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
·桌上型，省空間
·適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
Diener 等離子蝕刻機(jī)用途：
·表面清洗活化
·表面蝕刻
Diener 等離子蝕刻機(jī) ZEPTO RIE規(guī)格
ZEPTO RIE | Zepto RIE PCCE | |
控制方式 | 按鍵操作控制 | Windows CE 7"觸摸屏操作控制 |
操作方式 | 手動(dòng) | 手動(dòng)/自動(dòng) |
程序存儲 | — | 5組 |
工藝過程監(jiān)控 | — | 二維折線圖與數(shù)字實(shí)時(shí)顯示 |
報(bào)錯(cuò)功能 | — | 顯示詳細(xì)的報(bào)錯(cuò)信息 |
工藝氣路 | 雙路 | 單路，雙路 |
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2 | |
流量計(jì) | 針閥流量計(jì) | MFC流量計(jì) |
泄氣氣路 | 一路 | |
真空計(jì) | 指針式/0-10mbar | 數(shù)字式/0-9.99mbar |
計(jì)時(shí)器 | 0-100s 0-1000s(出廠默認(rèn)) 0-1000s | 0~999.9H |
真空腔體 | 不銹鋼圓形腔體 蓋子門帶觀察窗 尺寸Φ190mm x H60mm 容積1.7L | |
電極 | 不銹鋼氣浴RIE電極， Φ160mm | |
發(fā)生器 | 40kHz 0~100W，13.56MHz 0 ~50 W，13.56MHz 0 ~300 W | |
外形尺寸（WxDxH） | 425 x 450 x 310mm | |
電源 | AC 230 V / 16 A | |
真空泵 | 排氣速度不小于4m3/H, 極限真空度小于10Pa | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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