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表面電阻率的測(cè)量技術(shù)

閱讀:2038發(fā)布時(shí)間:2013-11-15

表面電阻率的測(cè)量 
  表面電阻率定義為材料表面的電阻,并表示為歐姆(通常稱為方塊電阻)。其測(cè)量方法是將兩個(gè)電極放在測(cè)試樣品的表面,在電極之間施加一個(gè)電位差,并測(cè)量產(chǎn)生的電流。

偏置修正技術(shù) 
  在測(cè)量電阻率非常高的材料時(shí),背景電流可能會(huì)引起測(cè)量誤差。背景電流可能是由材料中儲(chǔ)存的電荷(介電吸收)、靜電或摩擦電的電荷或壓電效應(yīng)引起的。背景電流可能等于或大于所加電壓源激勵(lì)出的電流。如果背景電流和測(cè)量的電流同極性,那么測(cè)量出的電流值將會(huì)比真值大得多。如果背景電流是反極性的,那么這種不希望有的電流可能會(huì)引起反極性的電流讀數(shù)。這就是說(shuō),電流的極性和所加電壓的極性相反,于是計(jì)算出的電阻將為負(fù)值。為了解決這個(gè)問(wèn)題,采用變換極性和變換電壓的方法實(shí)際上可以消除背景電流對(duì)樣品的影響。  

變換極性法  
  變換極性法施加一個(gè)正極性的偏置電壓,然后在規(guī)定的延遲時(shí)間后測(cè)量電流。接著將極性反向,經(jīng)過(guò)同樣的延遲時(shí)間再測(cè)量電流。這種極性反轉(zhuǎn)過(guò)程可以重復(fù)任意的次數(shù)。根據(jù)zui近的電流測(cè)量結(jié)果,按照加權(quán)平均可以計(jì)算出電阻值。 


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