A、選擇工作溫度時,請注意儀器所能保持的最高溫度(<1小時)和儀器能連續(xù)工作的溫度(安全、連續(xù)使用的溫度)。最高加熱溫度1700℃,連續(xù)工作溫度1600℃,如有不清楚的地方,請聯(lián)系客服B、儀器使用的加熱元件限制了加熱爐的最大工作溫度,目前我公司加熱元件可分為四類:(1)250 ~ 1250℃采用電阻絲加熱元件或紅外燈管加熱元件,最高加熱溫度1200℃,長時間使用1100℃,采用K型熱電偶測溫(如果客戶需要也可更換為S熱偶)。例如:科晶OTF-1200X-S
(2)1300 ~ 1600℃ 采用碳化硅加熱元件,采用S型熱電偶測溫。 (3)1600 ~ 1800℃ 采用MoSi2加熱元件(禁止長時間在800℃以下加熱),采用B型熱電偶測溫。 2、根據(jù)樣品大小選擇坩堝→爐管管徑→管式爐A、坩堝選擇(嚴禁不用坩堝直接將樣品放入常規(guī)爐管) a.石英坩堝:≤1200℃使用石英管,熱處理溫度超過600℃時,請不要用氧化鋁坩堝。 b.氧化鋁坩堝:≤1800℃使用剛玉管,熱處理溫度超過900℃時,請不要用莫來石坩堝。1.需要對粉末進行900℃熱處理,選擇石英坩堝裝載樣品。
2.需要將合金在1600℃熔化,選擇氧化鋁坩堝。(1)選擇好坩堝后,根據(jù)坩堝裝載樣品后的體積選擇合適的爐管管徑(一般買爐子會標配有加熱爐管)。 a.石英管 ≤1200℃ (真空環(huán)境下最高1000℃)
名稱 | 型號 | 管徑 |
科晶OTF系列 | OTF-1200X-S | Φ25、Φ50 |
OTF-1200X | Φ50、Φ60、Φ70、Φ80、Φ100、Φ130 |
科晶GSL系列 | GSL-1100X-S | Φ20、Φ50 |
GSL-1100X-6-S | Φ152 |
GSL-1100X-8.5-S | Φ216 |
b.剛玉管 ≤1800℃ (剛玉管不建議真空環(huán)境下使用)
| 型號 | 管徑 |
科晶GSL系列 | GSL-1400X | Φ60、Φ80 |
GSL-1500X | Φ80 |
GSL-1600X | Φ60、Φ80 |
GSL-1700X | Φ60 |
GSL-1750X | Φ60 |
GSL-1800X | Φ60 |
根據(jù)實驗要求選擇單溫區(qū)管式加熱爐和多溫區(qū)管式加熱爐,多溫區(qū)較單溫區(qū)設(shè)有多個熱電偶,n溫區(qū)加熱爐恒溫區(qū)比(n-1)溫區(qū)加熱爐的恒溫區(qū)要長,部分儀器尺寸變大。恒溫區(qū)一般指加熱爐內(nèi)的某一溫度相同的區(qū)間,樣品放置在這一區(qū)間內(nèi),樣品各處受到的溫度會基本一致。(中心區(qū)域溫度差小于±1℃)恒溫區(qū)的增加或減少可能會改變儀器的尺寸,儀器整體會變大或變小。選擇合適的恒溫區(qū),一定要先根據(jù)樣品的尺寸或?qū)嶒炓蟮氖軣狍w積來選擇。A、實驗樣品尺寸大于儀器恒溫區(qū),需要選擇多溫區(qū)來增加恒溫區(qū)的長度。B、根據(jù)實驗要求需要多個溫度梯度時,這就需要多溫區(qū)來實現(xiàn)。例如:通過物理沉積方式在基片上生長二維材料,原料高溫揮發(fā)后,利用載氣向低壓端移動,一定溫度下載基片上生長。(相鄰兩個溫區(qū)最大溫差300℃)請注意加熱爐加熱區(qū)分為總加熱區(qū)長度(加熱源能覆蓋的區(qū)域)和恒溫區(qū)長度。恒溫區(qū)總是小于加熱區(qū)。請選擇一個恒溫區(qū)尺寸超過您樣品的加熱爐。4、根據(jù)功能選擇加熱爐
管式爐為基礎(chǔ)加熱系統(tǒng),您可以根據(jù)不同的需求選擇成套科晶系統(tǒng),如CVD、 PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和二維材料生長系統(tǒng)等。(1)生長石墨烯/PECVD系統(tǒng),整個系統(tǒng)包括加熱爐系統(tǒng)、射頻電源、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、通風系統(tǒng)、氫氣報警系統(tǒng)。(2)立式管式爐:加熱管垂直放置,以懸吊樣品的方式,為樣品提供淬火。
(3)RTP(快速熱處理加熱爐):可以對樣品進行快速加熱和快速冷卻。a.OTF-1200X-4-RTP快速退火管式爐,最快50℃/s升溫速度,紅外燈管加熱。 b.OTF-1200X-50-S 迷你型快速加熱冷卻爐,加熱爐加熱到某一溫度后,滑至樣品所在區(qū)域,可以提高升溫速度,熱處理結(jié)束,將爐體移開,使樣品所在區(qū)域暴露在爐膛外快速冷卻。(4)高溫高壓爐/真空爐:特殊設(shè)計的鎳鉻合金和不銹鋼爐管,對樣品進行高溫高壓和真空處理。(5)旋轉(zhuǎn)管式爐:爐管旋轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)可以更均勻的熱處理粉末,同時也可以達到粉末均勻包覆的效果。(6)氫氣爐/氣氛爐:氫氣處理或其他危險氣體的實驗,請和銷售技術(shù)人員提前說明。不建議使用普通管式爐做危險實驗。·合肥科晶所有爐子的電子元器件均采用UL認證器件。·合肥科晶保證加熱爐可單臺可通過認證(可能會產(chǎn)生部分認證費用,具體請咨詢銷售)。