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CN三座標(biāo)非接觸測(cè)量顯微鏡

本儀器所使用的影像測(cè)量技術(shù)、圖像處理技術(shù)、自動(dòng)調(diào)焦技術(shù)、亞象素尋邊技術(shù)測(cè)量分析軟件極大提高測(cè)量精度和測(cè)量效率。儀器光學(xué)系統(tǒng)品質(zhì)優(yōu)良，物鏡成像清晰，倍率廣泛。提供物體輪廓（透射）和表面（反射）同軸照明，保證物體影像清晰。導(dǎo)軌、絲杠、光柵尺、電機(jī)等關(guān)鍵部件全部選用國(guó)外，保證系統(tǒng)的高質(zhì)量和高可靠性。

自動(dòng)識(shí)辨物體焦面位置和自動(dòng)尋找物體亞象素邊界。優(yōu)質(zhì)運(yùn)動(dòng)控制器和圖像傳感器，保證高品質(zhì)圖像質(zhì)量和工作臺(tái)的低噪音平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。 X、Y、Z軸全部電機(jī)閉環(huán)控制運(yùn)動(dòng)，Z軸裝有粗微調(diào)焦手輪調(diào)節(jié)以適應(yīng)測(cè)量工件高度要求。多種形位尺寸（幾何元素）測(cè)量，點(diǎn)、線、面、圓、橢圓、球面及其幾何元素間的關(guān)系，圓度、球度、平面度等形狀公差，平行度、垂直度等位置公差。平面定義與自動(dòng)三維采點(diǎn)測(cè)量，按國(guó)標(biāo)GB11337-98的各種方法自動(dòng)進(jìn)行平面度誤差檢測(cè)。提供測(cè)量編程指令，具有自學(xué)習(xí)編程功能，自動(dòng)批量快速測(cè)量，大大提高檢測(cè)效率。

人性化方便的運(yùn)動(dòng)控制和多種方式的測(cè)量功能，編程和自學(xué)習(xí)，成倍提高測(cè)量效率。系統(tǒng)提供多達(dá)20個(gè)機(jī)械坐標(biāo)和工件坐標(biāo)。無需轉(zhuǎn)臺(tái)，實(shí)時(shí)非接觸測(cè)量物體的高度、距離、角度等參數(shù)。無需傾斜臺(tái)，對(duì)物體基準(zhǔn)面進(jìn)行數(shù)學(xué)找正，避免物理找正的煩瑣。提供強(qiáng)大的數(shù)理統(tǒng)計(jì)分析和數(shù)據(jù)庫功能：統(tǒng)計(jì)參數(shù)計(jì)算，正態(tài)、歷史、直方圖、X2、T、F分布，X2、T、F檢驗(yàn)，單因素方差分析和相關(guān)性檢驗(yàn)等。輸出結(jié)果形式多樣，可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等應(yīng)用軟件使用。幾何形狀測(cè)量與構(gòu)造實(shí)時(shí)圖形的直觀顯示，利于測(cè)量檢查。提供在線幫助功能，操作簡(jiǎn)便，易學(xué)易用。

技術(shù)參數(shù)

工作臺(tái)行程	標(biāo)配：X=150mm, Y=150mm, Z=100mm
工作臺(tái)行程	選配：X: 100mm～400mm;Y: 100mm～200mm;Z: 100mm-150mm
光學(xué)尺分辨率	標(biāo)配：0.001mm閉式; 選配：0.0005mm閉式,0.0001mm開式
重復(fù)定位精度	X,Y,Z: ≤0.0015mm
重復(fù)調(diào)焦精度（倍率大于150X）	≤0.0015mm
系統(tǒng)不確定度	分辨率為0.001mm時(shí)：X,Y: （3.0+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm
	分辨率為0.0005mm時(shí)：X,Y: （1.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm
	分辨率為0.0001mm時(shí)：X,Y: （0.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm

儀器配置

部件名稱	規(guī)格（標(biāo)配）		選件		備注
CCD工業(yè)攝像頭	彩色CCD（1/2”）		黑白CCD（1/2”）		復(fù)合或標(biāo)準(zhǔn)視頻
工業(yè)顯微鏡	連續(xù)變倍：1:10 1.5X物鏡（50～500X）		連續(xù)變倍：0.7-4.5X; 工業(yè)內(nèi)照明高倍率長(zhǎng)工作距顯微鏡，物鏡倍率：3X～100X		C-Mount接口
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)	商用PC，98/2000/XP		工業(yè)控制機(jī) ,彩色噴墨打印機(jī)
測(cè)量控制軟件	TDYMS V60CNC
底座	花崗石00級(jí)
照明光源	透 6V20W，反21V150W可調(diào)鹵素?zé)?/span>	外接照明
工作臺(tái)行程（測(cè)量范圍）	X:150mm,Y:150mm，Z:100mm	X:100-400mm，Y:100-200mm Z:100-200mm		Z軸帶有粗微調(diào)機(jī)構(gòu),以滿足不同高度工件的測(cè)量（80mm 范圍）
驅(qū)動(dòng)方式	X、Y、Z：CNC電動(dòng)	JOG控制盒
驅(qū)動(dòng)電機(jī)	三相步進(jìn)電機(jī)	伺服電機(jī)

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