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當(dāng)前位置:德祥科技有限公司>>光學(xué)儀器及設(shè)備>>電子顯微鏡>> SEM SNE-4500M韓國SEC SNE-4500M型高分辨臺式掃描電鏡
產(chǎn)品型號SEM SNE-4500M
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地香港特別行政區(qū)
更新時間:2024-10-12 09:59:01瀏覽次數(shù):4050次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)背散射電子圖像分辨率 | 5nm | 二次電子圖象分辨率 | 5nmnm |
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放大倍數(shù) | 10萬倍x | 加速電壓 | 30kVkV |
價格區(qū)間 | 50萬-100萬 | 儀器種類 | 場發(fā)射 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),印刷包裝,綜合 |
品牌介紹
賽可(SEC)公司是專門從事開發(fā)生產(chǎn)掃描電子顯微鏡(SEM)與X-RAY檢測設(shè)備的企業(yè)。自1991年創(chuàng)立以來,經(jīng)過20多年的不懈努力與技術(shù)積累,已成為韓國的檢測設(shè)備研發(fā)制造公司。此外,核心零件的本土化與新技術(shù)的不斷開發(fā)也使得SEC具備了與世界大型企業(yè)相抗衡的競爭力,成為制造業(yè)的者。
賽可生產(chǎn)研制的桌面型臺式掃描電鏡Mini-SEM不僅具備傳統(tǒng)SEM的分析功能及高分辨率等性能,更以其便捷的操作性、人性化的設(shè)計以及合理的價格,被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、工業(yè)制造、化學(xué)化工、電子工業(yè)、環(huán)境科學(xué)、考古及司法鑒定等領(lǐng)域。賽可臺式掃描電鏡分為SNE-3000與SNE-4000兩個系列,可充分滿足使用者不同層次的分析需求。
韓國SEC SNE-4500M型高分辨臺式掃描電鏡-儀器配置
型號 | 參數(shù) | |
SEM basic | SNE-4500M | 分辨率:5nm,放大倍數(shù):100,000倍,探測器:二次電子(SE),電壓:1到30kv,樣品臺:X,Y,R,Z,T五軸/手動控制,真空:高 |
含 | 臺式電腦(或筆記本電腦)/因特爾處理器,硬盤:500GB,RAM緩存:4GB | |
顯示器(21.5英寸) | ||
機械泵(裝配;軟管);SEM備用零件(燈絲,試件臺,夾具,扳手……)Cable; Connecting 連接電纜 | ||
SEM Additional accessories | 背散射探測器,類型:固態(tài)4通道 | |
自動軸控制 -Type: X,Y,R(3-axis)/DC Type(Basic);類型:X,Y,R(3軸)/DC型(標(biāo)配) | ||
EDS System EDS系統(tǒng) | element | 分辨率:129 電子伏 / 元素范圍:從B 到Am, 反應(yīng)區(qū)域:25mm2, C系列Si3N4窗口,軟件:TEAM(頻譜分析,圖像,多點,線掃描,數(shù)據(jù)記錄) |
圖1 SNE-4500M型掃描電鏡
技術(shù)參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng) | 分辨率 | 5nm (30kV, 二次電子成像) |
放大倍率 | 20x~100,000x | |
加速電壓 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探測器 | 二次電子探測器(SE) | |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 | |
載臺系統(tǒng) | 載臺運動 | 5軸系統(tǒng) (X, Y, R, Z, T -手動) |
X, Y-軸: 40mm / R-軸: 360° | ||
Z-軸: 0~35mm / Tilt-軸 : 0~45° | ||
* 影像偏移 : ±150μm | ||
大樣品尺寸 | 80mm(Φ)*35mm(H) | |
成像系統(tǒng) | 自動功能 | 自動啟動,自動聚焦,自動消像散,自動調(diào)節(jié)對比與亮度 |
圖像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 高真空(低真空可選) |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式機械泵/渦輪式分子泵(全自動) | |
尺寸與重量 | 主機 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg |
控制單元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg | |
旋轉(zhuǎn)泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
EDS(elment)介紹
EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是裝載在SEM(電子顯微鏡)上的可以對樣品表面進行成分分析的設(shè)備。電子束轟擊樣品表面后,可產(chǎn)生多種信號,EDS探測器通過檢測其中的特征X-Ray,進行定性和定量分析。用戶可采用線掃、面掃等模式,進行點、線、面等多區(qū)域多樣的表面成分分析,并生成不同格式的結(jié)果報告。賽可所有電鏡型號都可以裝載EDS探測器,其搭載的袖珍EDS和大型電鏡配備的EDS具有相同的性能,且不需液氮,操作快速、簡便。
(a) 定性定量分析
提供快速精準(zhǔn)的定性及定量分析結(jié)果,面,點等多領(lǐng)域多樣的表面成分分析,如圖2。
- 自動分離重疊峰值, 提供高信頼性結(jié)果。
圖2 賽可臺式掃描電鏡EDS圖譜
(b) 線掃(Line Scan)
根據(jù)使用者的直線來進行分析,可以明顯區(qū)分各元素差異,如圖3。
圖3 賽可臺式掃描電鏡EDS線掃圖
(c) 面掃(Mapping)
以不同顏色區(qū)分各元素所在區(qū)域,如圖4。
圖4 賽可臺式掃描電鏡EDS面掃圖
自動軸控制
在標(biāo)配的手動控制載臺上搭載電動控制,可以對載臺在X/Y/R三軸的移動進行自動控制,使樣品移動更簡單。
用戶可以利用控制界面進行位置移動,在軟件中雙擊鼠標(biāo),位置回歸中心點。
圖5 自動化平臺
設(shè)備應(yīng)用展示
晶圓 (SE/10 kV/30,000x) | 氮化鎵(SE/15 kV/10,000x) |
二氧化硅(SE/20 kV/30,000x) | 氧化鋅(SE/5 kV/15,000x) |
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