著名的美國(guó)AJA磁控濺射系統(tǒng)和磁控濺射部件(主要是靶槍和電源、樣品臺(tái)等)〈br〉
各種分子泵,包括微型分子泵、磁懸浮分子泵、復(fù)合分子泵和耐腐蝕分子泵〈br〉
進(jìn)口的全系列羅茨泵、機(jī)械泵、干式真空泵、膜片泵、中高真空機(jī)組〈br〉
各種真空測(cè)量?jī)x表、四極質(zhì)譜儀、在線氣體分析儀、氦質(zhì)譜檢漏儀和大型檢漏系統(tǒng)〈br〉
產(chǎn)品檢漏的解決方案,真空應(yīng)用解決方案〈br〉
工業(yè)鍍膜機(jī)、加工定做的各種真空裝置和真空機(jī)組〈br〉
各種真空閥門(mén)、精密定量進(jìn)氣閥門(mén)、精密位移工具和精密三軸操作器〈br〉
直流/射頻電源
世華尖鋒(APM)公司提供功率從100W到40KW的直流(DC)和射頻(RF)電源. 我們提供的直流電源集合高效率的整流技術(shù), 功率/電流/電壓可調(diào)節(jié),抑弧功能等. 我們提供的Seren射頻電源, 可以實(shí)現(xiàn)*的可編程控制(包括工藝存儲(chǔ),功率曲線等),有效的減少了靶材的熱應(yīng)力. 無(wú)論是DC還是RF電源,都可以配合多路轉(zhuǎn)換裝置使用,實(shí)現(xiàn)一個(gè)電源給多個(gè)靶位分別供電或者RF/DC任意切換.
Senren*的100W和300W小功率RF電源,既能滿(mǎn)足使用要求,又*的降低了成本.這種小功率的RF電源,也非常適合做樣片的偏壓電源.具體參數(shù)如下:
AJA 100&300 Watt RF Generator with manual matching and integrated 3-way swithchbox
SPECIFICATIONS | A100RF/A100MM | A300RF/A300MM |
Output Power | 100W | 300W |
Frequency | 13.56MHz | |
Forward Power Metering | +/-1% full scale, +/-1% reading | |
Output Power Stability | +/-0.5% long term, +/-1% Watt | |
Harmonics | -55dBc | |
Input Power | 190-250 VAC,50/60 Hz | |
Output Connectors | (3) type “N” female | |
Interface Connectors | Serial: DB-9 Female, Analog: DB-25 Female | |
Pulsing | 10kHz, 50 micro sec/min. pulse | |
Cooling | Forced Air, 110 cfm (52 l/s) | |
Dimensions (generator+matchbox) | (2) half racks, 5.24”high, 19”deep, can be separate or together | |
Weight | 43 lbs |