PR05 白光干涉儀(三維形貌)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京普瑞微納科技有限公司
- 品牌
- 型號 PR05
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2017/8/16 11:15:56
- 訪問次數(shù) 1007
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產(chǎn)品原理
照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)干涉條紋明暗度解析出被測樣品的相對高度。
產(chǎn)品特點
1. 非接觸、高穩(wěn)定性、高速度測量
2. 高精度測量、結(jié)果可作為計量標(biāo)準(zhǔn):垂直解析度可達0.1nm、水平解析度可達0.1um
3. 大面積測量 自動縫合技術(shù)實現(xiàn)大面積高精度測量
4. 功能強大、使用便捷的測量分析軟:PRVision應(yīng)用軟件可提供多項測量參數(shù)
5. 適用范圍廣泛 可以測量多種類型樣品的表面微細結(jié)構(gòu)
6. 真正意義的免維護及優(yōu)良的性能價格比
軟件功能
1. 硬件控制、二維載物平臺自動控制、光學(xué)系統(tǒng)自動聚焦、干涉信號處理
2. 測量結(jié)果顯示及各種方式處理:二維平面和三維立體顯示、任意放大或縮小顯示圖像、調(diào)平和多角度自由旋轉(zhuǎn)
3. 粗糙度測量及結(jié)果顯示:包括評價區(qū)域位置信息和多種粗糙度評價參數(shù)
4. 線寬測量及結(jié)果顯示:采用亞像素插值處理技術(shù),線寬測量精度zui高可達0.1um、表格形式顯示各種線寬結(jié)果、根據(jù)事先確定的評判基準(zhǔn),實現(xiàn)線寬自動評判功能
5. 多幅相鄰區(qū)域測量結(jié)果自動縫合
應(yīng)用領(lǐng)域
在眾多高科技研發(fā)及產(chǎn)業(yè)中,諸如半導(dǎo)體、微機電、平面顯示器與電子封裝等,由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定產(chǎn)品的功能和效能,在其制成過程中皆需針對微結(jié)構(gòu)的表面輪廓品質(zhì)進行檢測,PR系列產(chǎn)品提供多種表面參數(shù)量測功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度以滿足業(yè)界及研究部門之需求。無論是拋光表面還是粗糙表面,只要反光率超過1%,就能被*檢測出來。半導(dǎo)體硅片及器、MEMS裝置表面、平面液晶顯示器、薄膜厚度、金屬摩擦學(xué)、陶瓷基板表面、光學(xué)器件表面、其他材料分析及微表面研究。