石英舟清洗機(jī)是一種專門用于清洗半導(dǎo)體制造過程中使用的石英舟和石英管的設(shè)備。以下是對石英舟清洗機(jī)的詳細(xì)介紹：

設(shè)備構(gòu)成

機(jī)械手：帶動花籃進(jìn)行水平和升降運動，使石英舟在超純水工藝槽和化學(xué)工藝槽內(nèi)進(jìn)行振動清洗。

管路系統(tǒng)：對廢液進(jìn)行分類排放及回收，減少廢液處理過程中的浪費，節(jié)省回收成本。

自動補液功能：通過液位傳感器控制，確保清洗液的穩(wěn)定供應(yīng)。

技術(shù)特點

藥液循環(huán)過濾：保持清洗液的清潔度，提高清洗效果。

爐管滾動：使石英舟在清洗過程中均勻受力，避免局部殘留。

獨取樣口：方便對清洗效果進(jìn)行實時監(jiān)控。

安全措施：排酸權(quán)限分級、排酸彈窗確認(rèn)、門鎖Interlock、EMO等，確保設(shè)備操作的安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

主要用于半導(dǎo)體制造過程中的石英舟和石英管的清洗，如8寸/12寸等多種尺寸的石英舟/石英管。