TMC SEM主動式壓電陶瓷振動 消除地面式平臺

SEM-Base VI是TMC STACIS主動壓電振動消chu產(chǎn)品系列的新一代產(chǎn)品。SEM-Base VI設(shè)計(jì)用于承載所有商業(yè)掃描電子顯微鏡(SEMs)、多數(shù)聚焦離子束顯微鏡(FIB)及小型雙光束設(shè)備。SEM-BaseVI可以提供升級版的振動隔離性能及更快更qiang勁的控制器，帶有g(shù)ao級圖形用戶界(GUI)。SEM-BaseVI讓越來越多的實(shí)驗(yàn)室、工廠可以實(shí)現(xiàn)能夠滿足其關(guān)鍵設(shè)備所要求的地面 振動水平。

SEM-BaseVI采用獨(dú)te串聯(lián)結(jié)構(gòu)，振動傳感器測量的是地面振動，不是負(fù)載振動。這樣就確保了負(fù)載諧振將不會限制平臺的振動隔離或者引起不穩(wěn)定性。振動傳感器采用低頻慣性速度傳感器，在測量亞Hz振動時具有*大的敏感度。加上TMC獨(dú)te的壓電致動技術(shù)，SEM-BaseVI即使在振動情況已經(jīng)很好的地面上也可以實(shí)現(xiàn)chao高水平的振動消chu。

相比于之前的SEM-Base版本，SEM-BaseVI的振動隔離能力平均來說增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式雙核處理器，為設(shè)備擁有者及研究者提供非常簡單易于使用的圖形用戶界面，可以快速進(jìn)入系統(tǒng)并實(shí)現(xiàn)平和的操作心態(tài)。當(dāng)通過Ethernet連接時，DC-2020在用戶的瀏覽器上即可實(shí)現(xiàn)SEM-Base圖形用戶界面，無需額外安裝軟件或者應(yīng)用程序。當(dāng)然用戶也可以通過控制器的板載式菜單驅(qū)動液晶屏(LCD)直接進(jìn)行控制。

特色

● STACISzhuan利技術(shù)

● 主動慣性振動消chu系統(tǒng)

● 895X1124X160mm(35.25X44.25X 6.3 in.)適合絕大多數(shù)商業(yè)SEMs

● 負(fù)載能力：408-1134kg(900-2500 lb.)

● 隔振效率1Hz：40-70%

   隔振效率2Hz：90%

   隔振效率>3Hz：90-98%

● 6個主動自由度

● 安裝容易，調(diào)諧簡單

● 兼容所有設(shè)備內(nèi)置的振動隔離系統(tǒng)

● 電源：100-240VAC，50/60Hz，<600W

● 是否需要空氣：非氣浮系統(tǒng)

● CE與RoHS認(rèn)證

● 完quan集成式的單平臺設(shè)計(jì)

● 可安裝腳輪，輕松便攜移動，無需搬運(yùn)

● 兼容SEM-Lift系統(tǒng)

TMC SEM主動式壓電陶瓷振動 消除地面式平臺

優(yōu)勢

硬式裝載技術(shù)

SEM-Base VI兼容SEM內(nèi)部預(yù)裝的任何隔振系統(tǒng)，從0.6Hz開始主動qiang力消減地面低頻振動。

主動慣性振動消chu

SEM-BaseVI采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也可以達(dá)到高水平的振動衰減。

串行設(shè)計(jì)與壓電技術(shù)

獨(dú)te串行設(shè)計(jì)加上高強(qiáng)度壓電zhuan利技術(shù)，SEM-BaseVI不但達(dá)到了寬至0.6Hz-150Hz的主動帶寬，更實(shí)現(xiàn)了慣性主動振動消chu，2Hz以上的振動衰減可達(dá)90%以上。

完quan集成式的單平臺設(shè)計(jì)

SEM-Base Vi設(shè)計(jì)與制造的集成化，將安裝平臺的工作簡化到了ji致，簡單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。

NOTE：可選SEM-Closure，專門設(shè)計(jì)用于保護(hù)SEMs的完整環(huán)境解決方案。在SEM-Closure密封隔音室內(nèi)可兼容放置SEM-BaseVI與Mag-NetX，保護(hù)SEM免除振動、磁場擾動與聲波噪音的影響。

應(yīng)用案例

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激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等

探測器：光電探測器、單光子計(jì)數(shù)器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

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