三維測(cè)量輪廓儀
- 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/9/6 12:04:16
- 訪問次數(shù) 643
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,航天,汽車 |
三維測(cè)量輪廓儀
三維測(cè)量輪廓儀
三維表面微觀測(cè)量及粗糙度評(píng)定廣泛應(yīng)用于精密加工、半導(dǎo)體加工、材料分析等領(lǐng)域
優(yōu)勢(shì)
√ 亞納米級(jí)縱向分辨率,適合光滑表面測(cè)量分析
√ 簡(jiǎn)單、精確、快速、可重復(fù)
√ 豐富的測(cè)量模式支持不同2D/3D測(cè)量需求
功能
√ 表面三維粗糙度非接觸測(cè)量
√ 表面微觀三維結(jié)構(gòu)測(cè)量
√ 膜厚測(cè)量與分析
√ 顯微反射光譜測(cè)量(選)
適用對(duì)象
精密光學(xué)元件,微納加工器件,金屬機(jī)加工零件,晶圓等
測(cè)量原理
√ 白光干涉顯微測(cè)量原理:采用白光光源,將非相干光干涉和高分辨率顯微成像技術(shù)相結(jié)形成微觀三維輪廓,采用不同測(cè)量倍率物鏡,縱向測(cè)量分辨率可達(dá)到亞納米量級(jí)
√ 顯微光譜測(cè)量:選配光譜模塊可以實(shí)現(xiàn)表面微區(qū)光譜測(cè)量和膜厚測(cè)量功能
實(shí)測(cè)案例