美國 Angstrom Sciences 線性磁控管 離子槍

美國 Angstrom Sciences 線性磁控管 離子槍

優(yōu)勢

Angstrom Sciences 的線性磁控管結(jié)合了我們的全封裝異形 NdFeB 稀土磁體和湍流水流，以提供較好的性能。

標(biāo)準(zhǔn)接頭

我們使用 ISO NW 標(biāo)準(zhǔn)接頭以及 Conflat® 金屬密封法蘭。所有公用設(shè)施都保持在大氣中，并通過標(biāo)準(zhǔn) O 形環(huán)壓縮配件進(jìn)行訪問，以便在任何真空系統(tǒng)中輕松安裝。

隨著越來越多的行業(yè)發(fā)現(xiàn)磁控濺射的速度、可控性和底線優(yōu)勢，Angstrom Sciences 正在開發(fā)工具以最大限度地提高這些更大、更快的制造工藝的產(chǎn)量。

更廣泛的解決方案

對于那些必須涂覆極寬基材或必須實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量的人來說，線性磁控管提供了不錯(cuò)的解決方案。

總功率兼容性

低阻抗頭提供射頻、直流、中頻直流、脈沖直流和微波功率兼容性。

久經(jīng)考驗(yàn)的性能

這些磁控管提供較好的性能，使 Angstrom Sciences 成為行業(yè)的新標(biāo)準(zhǔn)。

在極低壓力和較高功率下的標(biāo)準(zhǔn)操作，在任何應(yīng)用中為您提供均勻性、利用率和速率的平衡。

去任何長度

Angstrom Sciences 的線性陰極提供從 1 英寸/25 毫米到 16 英寸/406 毫米的全范圍靶材寬度和高達(dá) 185 英寸/4700 毫米的長度?？砂葱柙O(shè)計(jì)和制造定制磁控管滿足任何生產(chǎn)需求。

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