化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>濕法工藝設(shè)備>濕法清洗設(shè)備>customized 全自動(dòng)硅料清洗機(jī)
customized 全自動(dòng)硅料清洗機(jī)
- 公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 英斯特
- 型號(hào) customized
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 14:24:44
- 訪問(wèn)次數(shù) 192
聯(lián)系方式:謝澤雨 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
1. 產(chǎn)品概述:
英思特全自動(dòng)硅料清洗機(jī)是一種高度自動(dòng)化的設(shè)備,專(zhuān)門(mén)用于硅料的清洗處理。它通過(guò)一系列精確設(shè)計(jì)的工藝流程和先進(jìn)的技術(shù),能夠高效地去除硅料表面的雜質(zhì)、污垢和污染物,以滿足半導(dǎo)體制造等對(duì)硅料高純度的要求。該清洗機(jī)通常由多個(gè)功能模塊組成,包括上料系統(tǒng)、清洗槽、漂洗槽、干燥系統(tǒng)等,各部分協(xié)同工作,實(shí)現(xiàn)硅料從進(jìn)料到出料的全自動(dòng)化清洗過(guò)程。
2. 設(shè)備應(yīng)用:
· 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè):在半導(dǎo)體芯片制造的前端工序中,對(duì)硅晶圓等硅料進(jìn)行清洗,為后續(xù)的光刻、刻蝕、鍍膜等工藝提供潔凈的硅料表面,確保芯片的性能和質(zhì)量。例如,在制造集成電路的過(guò)程中,硅料表面的任何微小雜質(zhì)都可能導(dǎo)致芯片缺陷,因此需要高精度的清洗。
· 光伏產(chǎn)業(yè):用于光伏電池生產(chǎn)中硅片的清洗,去除硅片表面的雜質(zhì)和污染物,提高硅片的光電轉(zhuǎn)換效率。比如,高效太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)對(duì)硅片的潔凈度要求很高,全自動(dòng)硅料清洗機(jī)能夠滿足這一需求。
3. 設(shè)備特點(diǎn):
· 高度自動(dòng)化:從上料到清洗、漂洗、干燥再到下料,整個(gè)過(guò)程實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化控制,無(wú)需人工干預(yù),大大提高了生產(chǎn)效率,降低了人工成本,同時(shí)也減少了人為因素對(duì)清洗質(zhì)量的影響。
· 定制化設(shè)計(jì):可根據(jù)客戶的具體需求和生產(chǎn)工藝進(jìn)行定制化設(shè)計(jì),滿足不同規(guī)格、不同類(lèi)型硅料的清洗要求,以及與不同生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)線的無(wú)縫對(duì)接。
· 高效清洗能力:采用先進(jìn)的清洗技術(shù)和優(yōu)化的清洗工藝,能夠快速、有效地去除硅料表面的各種雜質(zhì),確保清洗后的硅料表面潔凈度達(dá)到很高標(biāo)準(zhǔn),為后續(xù)的生產(chǎn)工藝提供優(yōu)質(zhì)的基礎(chǔ)。
· 精確的工藝控制:配備高精度的傳感器和先進(jìn)的控制系統(tǒng),能夠?qū)η逑催^(guò)程中的各項(xiàng)參數(shù)(如溫度、時(shí)間、溶液濃度等)進(jìn)行精確控制和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),保證清洗工藝的穩(wěn)定性和一致性。
· 可靠的質(zhì)量和穩(wěn)定性:選用優(yōu)質(zhì)的材料和零部件,經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)和驗(yàn)證,確保設(shè)備具有良好的耐用性和穩(wěn)定性,能夠在長(zhǎng)時(shí)間的連續(xù)工作中保持穩(wěn)定的性能和可靠的運(yùn)行。
· 節(jié)能環(huán)保:在設(shè)計(jì)和制造過(guò)程中注重節(jié)能環(huán)保,采用高效的能源利用方式和環(huán)保的清洗溶液處理方法,降低設(shè)備運(yùn)行對(duì)環(huán)境的影響。
4. 產(chǎn)品參數(shù)(以部分為例):
以下參數(shù)僅供參考,實(shí)際參數(shù)可能因定制化需求和設(shè)備型號(hào)而有所不同。
· 清洗槽數(shù)量:通常有多個(gè)清洗槽,如 3 - 5 個(gè),分別用于不同的清洗步驟(如預(yù)清洗、主清洗、精清洗等)。
· 清洗方式:可包括浸泡式清洗、噴淋式清洗、超聲波清洗等多種方式相結(jié)合。
· 處理能力:每小時(shí)能夠處理一定量的硅料,例如 50 - 200 千克 / 小時(shí)。
· 溫度控制范圍:清洗槽的溫度可在一定范圍內(nèi)精確控制,如 30 - 80℃。
· 溶液循環(huán)系統(tǒng):具備高效的溶液循環(huán)和過(guò)濾系統(tǒng),確保清洗溶液的清潔度和有效性。
· 設(shè)備尺寸:根據(jù)生產(chǎn)場(chǎng)地和需求,設(shè)備的外形尺寸可能有所不同,一般長(zhǎng)度在 2 - 5 米,寬度在 1 - 2 米,高度在 1.5 - 2.5 米。
· 電源要求:通常需要三相交流電,電壓如 380V,頻率 50Hz,功率根據(jù)設(shè)備型號(hào)和配置而定,一般在 10 - 30kW 之間。