GEN10 分子束外延MBE
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 Veeco
- 型號(hào) GEN10
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 14:14:41
- 訪問(wèn)次數(shù) 131
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1. 產(chǎn)品概述:
GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺(tái)中經(jīng)濟(jì)、靈活的簇狀工具系統(tǒng),允許多達(dá)三個(gè)可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊。這使得系統(tǒng)利用率高,允許多個(gè)研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng),并在無(wú)人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合,是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素,無(wú)論應(yīng)用是什么。
自動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移可實(shí)現(xiàn)高系統(tǒng)利用率,允許多名研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng),并在無(wú)人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)
經(jīng)濟(jì)地升到其他增長(zhǎng)模塊的路徑,多三個(gè)
集群架構(gòu)中可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊可在一個(gè)真空系統(tǒng)中生長(zhǎng)不相容的材料
直接通往更大規(guī)模生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)的工藝路徑
GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺(tái)中經(jīng)濟(jì)、靈活的簇狀工具系統(tǒng),允許多達(dá)三個(gè)可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊。這使得系統(tǒng)利用率高,允許多個(gè)研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng),并在無(wú)人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合,是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素,無(wú)論應(yīng)用是什么。