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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>外延系統(tǒng)>GEN10 分子束外延MBE

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GEN10 分子束外延MBE

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分子束外延MBE薄膜沉積

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺(tái)中經(jīng)濟(jì)、靈活的簇狀工具系統(tǒng),允許多達(dá)三個(gè)可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊。這使得系統(tǒng)利用率高,允許多個(gè)研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng),并在無(wú)人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合,是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素,無(wú)論應(yīng)用是什么。

 

自動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移可實(shí)現(xiàn)高系統(tǒng)利用率,允許多名研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng),并在無(wú)人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)

經(jīng)濟(jì)地升到其他增長(zhǎng)模塊的路徑,多三個(gè)

集群架構(gòu)中可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊可在一個(gè)真空系統(tǒng)中生長(zhǎng)不相容的材料

直接通往更大規(guī)模生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)的工藝路徑 

GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺(tái)中經(jīng)濟(jì)、靈活的簇狀工具系統(tǒng),允許多達(dá)三個(gè)可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊。這使得系統(tǒng)利用率高,允許多個(gè)研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng),并在無(wú)人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合,是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素,無(wú)論應(yīng)用是什么。




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