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SPW系列 卷繞式濺射設備

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應用領域 綜合

1 產品概述:

   卷繞式濺射設備,也稱為卷繞磁控濺射鍍膜機,是一種在真空環(huán)境下,利用磁控濺射技術將金屬、合金、化合物或陶瓷等材料沉積到連續(xù)卷繞的柔性基材(如塑料薄膜、金屬帶等)上的先進鍍膜設備。該設備主要由濺射室、卷繞系統(tǒng)、磁控靶及電源、樣品加熱系統(tǒng)、樣品退火系統(tǒng)、泵抽系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)等組成。在濺射過程中,通過高能粒子轟擊靶材表面,使靶材原子或分子被濺射出來并沉積在基材上,形成所需的薄膜層。

2 設備用途:

卷繞式濺射設備具有廣泛的應用領域,主要包括但不限于以下幾個方面:

  1. 柔性電子:用于在柔性基材上鍍制各種介質膜、導電膜等,如ITO透明導電膜,廣泛應用于柔性線路板、柔性顯示器件等領域。

  2. 太陽能電池:在金屬帶上鍍制光學多層膜,用于制作薄膜太陽能電池,提高光電轉換效率。

  3. 包裝與防偽:在包裝材料上鍍制防偽膜層,提高產品的防偽性能和美觀度。

  4. 電容器:在電容器電極上鍍制金屬薄膜,提高電容器的性能。

3 設備特點

卷繞式濺射設備具有以下幾個顯著特點:

  1. 高效連續(xù)生產:設備采用連續(xù)卷繞的方式,實現(xiàn)了對柔性基材的連續(xù)鍍膜處理,大大提高了生產效率。

  2. 鍍膜質量高:磁控濺射技術具有鍍膜溫度低、膜層厚度可控、細膩、均勻、附著牢固等優(yōu)點,能夠制備出高質量的薄膜層。

  3. 鍍膜材料范圍廣:可適用于多種材料的鍍膜處理,包括金屬、合金、化合物和陶瓷等。


4
技術參數和特點:

可根據工藝或生產性選擇各種模組。

通過任意、追加選擇模組,可實現(xiàn)各種用途。

在地面高度可以進行設備操作。

優(yōu)秀的氛圍分隔性能和成膜工藝的改善,使高速率生產高品位的薄膜成為可能。

觸摸屏用配線膜、透明導電膜以及透明薄膜等。

FPC用電膜






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