Model 659 光刻曝光分析儀
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司
- 品牌 OAI
- 型號 Model 659
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/2/23 13:53:48
- 訪問次數(shù) 724
聯(lián)系方式:劉先生18721247059 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
45年來,OAI始終是紫外能量測試儀器領(lǐng)域的*應(yīng)用商,其儀器用于半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)、晶圓封裝和晶圓植球行業(yè)中光刻工藝的可靠,精確校準(zhǔn)控制。
Model 659是一款手持式紫外功率計(jì),配有觸摸屏和 USB 接口。通過使用特殊探頭(365nm、400nm、420nm 和 436nm),可以測量主要用于步進(jìn)應(yīng)用的寬范圍波長。
● 多達(dá)400個(gè)曝光參數(shù)
● 以太網(wǎng)和USB接口,用于下載記錄的測量值
● 強(qiáng)度范圍達(dá)7500mW/cm2
● 強(qiáng)度分辨率:0.01mW/cm2
● 探頭波長:365nm、400nm、420nm、436nm
Model 659 型曝光分析儀,與晶圓步進(jìn)光刻機(jī)配合使用,專為Ultratech Stepper等高強(qiáng)度光刻設(shè)備而設(shè)計(jì)(讀數(shù)高達(dá)7500mW/cm2,1000000mJ/cm2'',最長9999秒)??蛇x擇探頭光譜響應(yīng):365nm、400nm、420nm或436nm.
OAI擁有完整的認(rèn)證校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室,以確保儀器的性能,質(zhì)量,和可靠性。Model 659 可追溯至NIST標(biāo)準(zhǔn)。