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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測量/計量儀器>表面測量儀器>光學(xué)表面分析儀> FR-InLine-在線薄膜厚度測量儀

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FR-InLine-在線薄膜厚度測量儀

具體成交價以合同協(xié)議為準

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機構(gòu)長期發(fā)展的目標。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,綜合

1、簡述

FR-InLine 是一款模塊化可擴展的在線薄膜厚度測量儀(膜厚儀),可進行在線非接觸測量 3nm-1mm 厚度范圍內(nèi)的涂層。

FR-InLine 在線薄膜厚度測量儀(膜厚儀)并可以依據(jù)各種不同應(yīng)用設(shè)置多個參數(shù)的實時測量,例如:反射率和透射率光譜、厚度、色座標。

FR-InLine 膜厚儀測量軟件可以在標準 Windws 10/11 中執(zhí)行。

2、產(chǎn)品應(yīng)用

  • 透明和半透明涂層

  • 眼鏡上的涂層

  • 食品工業(yè)

  • 光學(xué)薄膜

  • 包裝

  • 粘合劑

  • 聚合物

  • 可撓式電子和顯示器

  • 其他各種工業(yè)……

(聯(lián)系我們了解您的應(yīng)用需求)

3、產(chǎn)品特征

FR-InLine 膜厚儀提供半寬(蕞多 4 通道)和全寬(蕞多 8 通道)3U 機架安裝機箱,可實時測量涂層的薄膜厚度。 FR-InLine 通過標準I/控制埠為啟動/停止/復(fù)位功能提供外部觸發(fā)選項。測量數(shù)據(jù)可立即供其他軟件使用,以進一步調(diào)整生產(chǎn)流程。工程師可以輕易完成安裝。

4、附件

FR-InLine 附帶多個附件,例如:

§TCP/IP 通信

§支持任何特定需求長度和配置的反射探頭和光纖

§光學(xué)模塊(例如聚焦透鏡、運動支架),以協(xié)助探頭安裝在產(chǎn)線上

5、其他特點

提升流程運行時間和產(chǎn)品質(zhì)量

減少原材料消耗和成本控制

6、FR-InLine 規(guī)格(標準配置)

Model

UV/Vis

UV/NIR-EXT

VIS/NIR

NIR

NIR-N1

WLRange–nm波長

200–850

200–1020

370–1020

900–1700

850-1050

Pixels像素

3648

3648

3648

512

3648

ThicknessRange*1

3nm-80um

3nm-90um

15nm-90um

200um

1um-400um

n&k-MinThick

50nm

50nm

100nm

500nm


Thick.Accuracy*2

1nm/0.2%

1nm/0.2%

1nm/0.2%

3nm/0.4%

50nm/0.2%

Thick.Precision*3,4

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.1nm


Thick.stability*5

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.15nm


LightSource

ExternalDeuterium&Halogen,2000h

Halogen(internal)3000h(MTBF)

IntegrationTime

5msec(min)


5msec(min)


Spotsize

Diameterof350um(smallerspotsizeoptionsareavailableuponrequest)

MaterialDatabase


>700differentmaterials


Connectivity



USBorTCP/IP



Power


100-240V50-60Hz



FR-InLine膜厚儀測量圖示FR-InLine膜厚儀測量圖示2

注:

*1、規(guī)格如有變更,恕不另行通知

*2、與校正過的光譜橢偏儀和x射線衍射儀的測量結(jié)果匹配

*3、超過15天平均值的標準偏差平均值,樣品:硅晶片上1微米Si2

*4、標準偏差100次厚度測量結(jié)果,樣品:硅晶片上1微米Si2,

*5、15天內(nèi)每日平均值的2*標準差。樣品:硅片上1微米Si2。





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