光刻膠又稱光致抗蝕劑，是一種對(duì)光敏感的混合液體。其組成部分包括：光引發(fā)劑（包括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑）、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。光刻膠可以通過光化學(xué)反應(yīng)，經(jīng)曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓?xì)圖形從光罩（掩模版）轉(zhuǎn)移到待加工基片上。依據(jù)使用場(chǎng)景，這里的待加工基片可以是集成電路材料，顯示面板材料或者印刷電路板。

按照曝光波長(zhǎng)分類，光刻膠可分為紫外光刻膠（300~450nm）、深紫外光刻膠（160~280nm）、極紫外光刻膠（EUV，13.5nm）、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X射線光刻膠等。不同曝光波長(zhǎng)的光刻膠，其適用的光刻極限分辨率不同。通常來說，在使用工藝方法一致的情況下，波長(zhǎng)越短，加工分辨率越佳。

可測(cè)量不同波長(zhǎng)下的折射率與阿貝數(shù)值，數(shù)字顯示，準(zhǔn)確清晰，活動(dòng)光源，可定做濾光片，對(duì)薄膜的XYZ軸有特殊方法檢測(cè)！

ATAGO愛拓半導(dǎo)體光刻膠折射率阿貝折光儀 DR-M2/M4（最大1,100nm），可在波長(zhǎng)450至1,100nm范圍內(nèi)，使用不同的波長(zhǎng)測(cè)量折射率（nD）和阿貝數(shù)值。測(cè)量結(jié)果通過調(diào)整分界線至十字交叉點(diǎn)確定，測(cè)量結(jié)果在LCD顯示屏以數(shù)字形式顯示，與傳統(tǒng)型阿貝折射儀相比，讀數(shù)更快速更清晰。尤其適合高精度測(cè)量眼鏡片等聚酯材質(zhì)的折射率。

ATAGO愛拓半導(dǎo)體光刻膠折射率阿貝折光儀，廣泛用于測(cè)量：濃縮果汁、香精香料、工業(yè)溶液、化工材料、光學(xué)玻璃、塑料薄膜、各種新型材料及某些固體物質(zhì)的折射率（nD）及Brix值。