化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>少子壽命測試儀>FlyTOF 飛行時間法載流子(電子空穴)遷移率測量儀
產(chǎn)品關(guān)鍵詞:載流子遷移率、電子遷移率、空穴遷移率、渡越時間、飛行時間、TOF、載流子壽命、遷移率壽命積、瞬態(tài)光電流、水平載流子、橫向TOF、橫向載流子、二維載流子成像mapping
▌ 產(chǎn)品簡介
早于2012年為行業(yè)提供搭建式系統(tǒng),并于2019年全新推出的業(yè)內(nèi)新款自動化、集成化的飛行時間法遷移率測量商業(yè)化設(shè)備。
FlyTOF飛行時間法遷移率測量儀是東譜科技HiTran瞬態(tài)綜合光電特性測量平臺中的重要成員。該系統(tǒng)利用飛行時間法(time-of-flight,TOF)測量半導(dǎo)體材料的遷移率以及相關(guān)的光電特性,廣泛適用于各類半導(dǎo)體材料,如硅基半導(dǎo)體、第二代半導(dǎo)體、第三代寬帶隙半導(dǎo)體、有機(jī)半導(dǎo)體、鈣鈦礦半導(dǎo)體、量子點(diǎn)半導(dǎo)體、二維材料半導(dǎo)體、金屬-有機(jī)框架(MOF)、共價有機(jī)框架(COF)等。FlyTOF基于我司的MagicBox主機(jī)研制而成,配備便捷的上位機(jī)控制和數(shù)據(jù)測量軟件,可助力客戶進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的測量。FlyTOF是東譜科技源頭研發(fā)產(chǎn)品,是業(yè)內(nèi)新款自動化、集成化的飛行時間法遷移率測試商業(yè)化設(shè)備。
遷移特性是半導(dǎo)體基礎(chǔ)的性質(zhì)之一,是半導(dǎo)體在電子學(xué)和光電子學(xué)等領(lǐng)域進(jìn)行應(yīng)用的基礎(chǔ)。半導(dǎo)體的遷移率定義為單位電場下載流子的平均漂移速度。TOF遷移率測試方法直接由遷移率的定義發(fā)展而來。 相比于一些間接的遷移率測試方法,如空間電荷限制電流(SCLC)法等,TOF的方法被認(rèn)為是接近“真實(shí)”遷移率的一種測量方法。通過TOF瞬態(tài)光電流信號的分析,可以得到電子遷移率、空穴遷移率等參數(shù);用戶還可以利用這些數(shù)據(jù),結(jié)合材料的物理模型進(jìn)行分析,得到雜質(zhì)濃度、缺陷、能帶混亂度、電荷跳躍距離等參數(shù)。
作為TOF遷移率測試方法商業(yè)化應(yīng)用的先行,東譜科技已攜手客戶廣泛探索了FlyTOF在有機(jī)半導(dǎo)體、硅基半導(dǎo)體、鈣鈦礦半導(dǎo)體、二維材料、共價有機(jī)框架等領(lǐng)域的應(yīng)用。東譜期待與您共同開拓FlyTOF更多的應(yīng)用領(lǐng)域。
▌ 產(chǎn)品特點(diǎn)
□ 載流子遷移率測量值覆蓋10^-9~10^6 cm^2/(V.s)
□ 專業(yè)的信號調(diào)教,電磁兼容噪聲小
□ 行業(yè)優(yōu)異的TOF測試功能
□ 軟件自動控制,測試快速便捷
□ 快速換樣裝置,惰性氣體氛圍測試
□ 可實(shí)現(xiàn)寬溫度范圍的變溫測試(選配)
□ 可通過可視化系統(tǒng)看到光斑照射情況
□ 可靈活耦合各種類型的激發(fā)光源
▌ 產(chǎn)品功能
□ 飛行時間法瞬態(tài)光電流測量
□ 半導(dǎo)體材料電子遷移率測量
□ 半導(dǎo)體材料空穴遷移率測量
□ 載流子濃度測量
□ 載流子壽命測量
□ 可選變溫測量
□ 可選Lateral-TOF測試功能及附件
□ 可選配TOF二維掃描(mapping)功能及附件
功能說明:
標(biāo)配TOF:縱向TOF;
Mapping功能:可以對TOF的信號進(jìn)行二維平面的成像;
Lateral-TOF功能:可以以水平的方式對樣品的遷移率進(jìn)行測試。
▌ 產(chǎn)品應(yīng)用
□ 有機(jī)半導(dǎo)體 | □ 量子點(diǎn)半導(dǎo)體 | □ 元素半導(dǎo)體(Si、Ge等) | □ 金屬-有機(jī)框架(MOF) | □ 二維材料 |
□ 寬帶隙第三代半導(dǎo)體 | □ 鈣鈦礦材料 | □ 化合物半導(dǎo)體(InGaAs等) | □ 共價有機(jī)框(COF) | □ 其它半導(dǎo)體材料 |
▌ 規(guī)格型號
規(guī)格配置 | 高性能版(E300) | 標(biāo)配版(S300) | 經(jīng)濟(jì)版(W300) |
TOF標(biāo)配功能 | √ | √ | √ |
Mapping模塊 | 可選 | 可選 | × |
Lateral-TOF | 可選 | 可選 | × |
* Lateral-TOF: □ 包含顯微系統(tǒng)、探針系統(tǒng)、針對Lateral-TOF的光路及電子部件系統(tǒng)等,具有非標(biāo)性質(zhì),詳情請與銷售專員聯(lián)系。 * 可選配置/部件: □ 337nm 納秒氣體激光器; □ 532nm納秒調(diào)Q固體激光器; □ 355 nm納秒調(diào)Q固體激光器; □ Nd:YAG激光器 1064 nm、532 nm、355 nm、266 nm; □ 可調(diào)諧 OPO 激光器,波長范圍:210-2400 nm。 |
▌ 測試樣例