UV-1 日本samco紫外線臭氧清洗機(jī)
參考價(jià) | ¥ 9999 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 深圳九州工業(yè)品有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) UV-1
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/4 14:38:00
- 訪問次數(shù) 321
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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日本samco紫外線臭氧清洗機(jī) UV-1
概述:
該裝置是一種UV臭氧清洗機(jī),可以對(duì)各種半導(dǎo)體工藝進(jìn)行干燥處理??梢赃M(jìn)行有機(jī)物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍(lán)寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發(fā)生器和加熱臺(tái),紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實(shí)現(xiàn)高效的清潔和表面改性,而不會(huì)對(duì)基材造成電氣損壞。
特征:
-由于同時(shí)使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺(tái)加熱器的熱量,因此可以實(shí)現(xiàn)高效清潔。
-離子或電子不會(huì)對(duì)元件造成損壞。
-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設(shè)備。
-由于大氣壓處理,不需要真空系統(tǒng)。
日本samco紫外線臭氧清洗機(jī) UV-1
概述:
該裝置是一種UV臭氧清洗機(jī),可以對(duì)各種半導(dǎo)體工藝進(jìn)行干燥處理。可以進(jìn)行有機(jī)物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍(lán)寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發(fā)生器和加熱臺(tái),紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實(shí)現(xiàn)高效的清潔和表面改性,而不會(huì)對(duì)基材造成電氣損壞。
特征:
-由于同時(shí)使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺(tái)加熱器的熱量,因此可以實(shí)現(xiàn)高效清潔。
-離子或電子不會(huì)對(duì)元件造成損壞。
-由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設(shè)備。
-由于大氣壓處理,不需要真空系統(tǒng)。