PT3000 等離子清洗機(jī)
- 公司名稱 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 LEBO/雷博
- 型號(hào) PT3000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/10/16 18:09:12
- 訪問次數(shù) 4284
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,綜合 |
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設(shè)備的優(yōu)點(diǎn):
1、采用射頻電源、自動(dòng)匹配器,一鍵式操控。
2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。
3、無(wú)環(huán)境污染、無(wú)化學(xué)品消耗。
4、可處理形狀復(fù)雜和微細(xì)結(jié)構(gòu)的材料。
設(shè)備的參數(shù):
腔體材質(zhì) :鋁合金
供電電源 : AC220V、1000W
濺射電壓:MAX 2500V
濺射電流:MAX 30mA
靶材尺寸:直徑57mm,厚度0.1~0.5mm
射頻電源功率: 0-300W可調(diào)
射頻頻率: 13.56MHz
真空度:≤100Pa
氣體路數(shù):2路
氣體流量:MFC氣體質(zhì)量流量計(jì) 500SCCM(可調(diào))
控制: 觸屏
清洗時(shí)間:1-6000s連續(xù)可調(diào)
處理尺寸:≤8寸
內(nèi)腔尺寸:226mm(長(zhǎng))*126mm(高)*224mm(深)
外形尺寸: 620mm*560mm*410mm(寬*深*高)
重量:≈38KG
真空泵:飛越ARV-4